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Support de gravure ICP en carbure de silicium

Support de gravure ICP en carbure de silicium

Vous recherchez un support de plaquette fiable pour les processus de gravure ? Ne cherchez pas plus loin que le support de gravure ICP en carbure de silicium de Semicorex. Notre produit est conçu pour résister à des températures élevées et à un nettoyage chimique agressif, garantissant durabilité et longévité. Avec une surface propre et lisse, notre support est parfait pour manipuler des wafers vierges.

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Description du produit

Assurez des modèles d'écoulement de gaz laminaire optimaux et l'uniformité du profil thermique avec le support de gravure ICP en carbure de silicium de Semicorex. Notre produit est conçu pour obtenir les meilleurs résultats possibles pour les processus de dépôt de couches minces et de manipulation de tranches. Avec une résistance supérieure à la chaleur et à la corrosion, notre support est le choix parfait pour les applications exigeantes.

Chez Semicorex, nous nous concentrons sur la fourniture de produits de haute qualité et rentables à nos clients. Notre support de gravure ICP en carbure de silicium a un avantage de prix et est exporté vers de nombreux marchés européens et américains. Notre objectif est d'être votre partenaire à long terme, offrant des produits de qualité constante et un service client exceptionnel.

Contactez-nous dès aujourd'hui pour en savoir plus sur notre support de gravure ICP en carbure de silicium.


Paramètres du support de gravure ICP en carbure de silicium

Principales caractéristiques du revêtement CVD-SIC

Propriétés SiC-CVD

Structure en cristal

Phase β FCC

Densité

g/cm³

3.21

Dureté

Dureté Vickers

2500

Taille d'un grain

μm

2~10

Pureté chimique

%

99.99995

Capacité thermique

J·kg-1 ·K-1

640

Température de sublimation

2700

Force Felexurale

MPa (RT 4 points)

415

Module de Young

Gpa (pli 4pt, 1300â)

430

Dilatation Thermique (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Conductivité thermique

(W/mK)

300


Caractéristiques du support de gravure ICP en carbure de silicium

- Éviter le décollement et assurer le revêtement sur toutes les surfaces

Résistance à l'oxydation à haute température : Stable à haute température jusqu'à 1600°C

Haute pureté : fabriqué par dépôt chimique en phase vapeur CVD dans des conditions de chloration à haute température.

Résistance à la corrosion : dureté élevée, surface dense et particules fines.

Résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.

- Obtenez le meilleur schéma d'écoulement de gaz laminaire

- Garantir l'uniformité du profil thermique

- Empêcher toute contamination ou diffusion d'impuretés





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