Partie LPE

Les pièces Semicorex LPE sont des composants revêtus de SiC hautes performances spécialement conçus pour être utilisés dans le processus d'épitaxie SiC. Ces composants sont conçus pour résister aux conditions exigeantes de la croissance des cristaux de SiC, offrant une stabilité thermique, une résistance chimique et une résistance mécanique supérieures. En choisissant les pièces LPE de Semicorex, vous avez la garantie d'une durabilité, d'une précision et d'une solution sur mesure exceptionnelles pour vos besoins en matière de processus d'épitaxie SiC.

Les pièces Semicorex LPE sont fabriquées avec des matériaux avancés et des techniques de fabrication précises, garantissant la cohérence et la fiabilité de chaque unité. Les propriétés physiques et chimiques du revêtement ont des exigences strictes en matière de résistance aux températures élevées et à la corrosion, qui affectent directement le rendement et la durée de vie du produit. Le matériau SiC présente une résistance élevée, une dureté élevée, un faible coefficient de dilatation thermique et une bonne conductivité thermique. Il s'agit d'un matériau structurel à haute température et d'un matériau semi-conducteur à haute température important. Il est appliqué sur des bases en graphite. Ses avantages sont :

1) Le SiC est résistant à la corrosion et peut envelopper entièrement la base en graphite, et a une bonne densité pour éviter les dommages causés par les gaz corrosifs. 2) Le SiC a une conductivité thermique élevée et une force de liaison élevée avec la base en graphite, garantissant que le revêtement ne tombe pas facilement après avoir subi plusieurs cycles à haute et basse température. 3) Le SiC a une bonne stabilité chimique pour éviter la défaillance du revêtement dans une atmosphère corrosive et à haute température. De plus, les fours épitaxiaux de différents matériaux nécessitent des plateaux en graphite avec des indicateurs de performances différents. L'adaptation du coefficient de dilatation thermique des matériaux graphites nécessite une adaptation à la température de croissance du four épitaxial. Par exemple, la température de l'épitaxie du carbure de silicium est élevée et un plateau présentant un coefficient de dilatation thermique élevé est requis. Le coefficient de dilatation thermique du SiC est très proche de celui du graphite, ce qui en fait le matériau préféré pour le revêtement de surface de la base en graphite.

Applications dans le processus d'épitaxie SiC

Le processus d'épitaxie SiC est une étape critique dans la production de plaquettes SiC de haute qualité utilisées pour les dispositifs semi-conducteurs, notamment l'électronique de puissance et l'optoélectronique. Les pièces LPE, en particulier celles dotées de revêtements SiC, jouent un rôle essentiel dans le contrôle précis de la température et des réactions chimiques au sein du réacteur. Ces composants sont stratégiquement placés dans le réacteur pour faciliter une croissance optimale des plaquettes tout en conservant la pureté et l'uniformité des cristaux de SiC.

Chez Semicorex, nous comprenons que chaque processus d'épitaxie SiC a des exigences uniques. C'est pourquoi nos pièces LPE peuvent être entièrement personnalisées pour répondre aux besoins spécifiques de votre opération. Qu'il s'agisse de la taille, de la forme ou de l'épaisseur du revêtement, notre équipe d'ingénierie travaille en étroite collaboration avec les clients pour fournir des composants qui optimisent leurs processus de production.

Le revêtement SiC de haute qualité appliqué à nos pièces garantit également une durabilité supérieure. Contrairement aux matériaux conventionnels, le SiC offre une durée de vie plus longue dans des conditions de fonctionnement difficiles, réduisant ainsi la fréquence de maintenance et les temps d'arrêt. Cette longévité se traduit par des coûts opérationnels inférieurs et une efficacité accrue pour les fabricants de semi-conducteurs.

Les pièces Semicorex LPE sont conçues avec précision et conçues pour répondre aux exigences strictes du processus d'épitaxie SiC. Nos composants sont produits à l’aide des dernières technologies, garantissant ainsi des performances et une longévité inégalées. En choisissant Semicorex, vous sélectionnez un partenaire qui comprend les complexités de la fabrication des semi-conducteurs et qui s'engage à fournir des produits fiables et de haute qualité qui améliorent vos capacités de production.

Pièces Semicorex LPE, avec leurRevêtement SiC, constituent le choix idéal pour améliorer les performances et la longévité des réacteurs d'épitaxie SiC. Ces composants offrent une stabilité thermique, une résistance chimique et une résistance mécanique supérieures, garantissant ainsi le déroulement fluide et efficace de votre processus de croissance de cristaux SiC. Avec les options de personnalisation disponibles, Semicorex propose une solution sur mesure qui répond à vos exigences spécifiques en matière de processus, faisant de nous le partenaire de confiance des fabricants de semi-conducteurs du monde entier.