Bateau à plaquettes de silicium

Semicorex peut personnaliser la structure du bateau de plaquettes de silicium, y compris la forme de la tige de rainure, la longueur des dents de rainure, la forme, l'angle d'inclinaison et la capacité de chargement totale des plaquettes, et peut être produit selon les exigences du client. Les bateaux en silicium à haute température peuvent réduire efficacement les dommages de contact sur les plaquettes de silicium et améliorer le rendement du processus. Sa conception en « tours antidérapantes » à haute température supporte les plaquettes uniquement au niveau de la pointe de la dent de support. Comparé àcarbure de silicium, le silicium a une dureté relativement faible, ce qui réduit les dommages mécaniques aux tranches, améliorant ainsi le taux de réussite du réseau et réduisant efficacement les coûts de production. Le bateau en silicium fondu est composé de plusieurs parties : les dents, la plaque de base et la plaque supérieure, qui sont fusionnées ensemble. Cela réduit les coûts de production. En cas de dommages partiels, les pièces endommagées peuvent être remplacées sans remplacer l'ensemble du bateau en silicium, ce qui réduit considérablement les coûts de possession lors de l'utilisation. De plus, le bateau en silicium a une limite supérieure élevée pour le dépôt de polysilicium, ce qui peut réduire efficacement la fréquence des équipements PM et améliorer la capacité de production.

Semicorex Silicon Wafer Boat est un support de plaquettes innovant et spécialement conçu. Il est spécialement créé pour le traitement au four à haute température utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs, y compris les processus d'oxydation et de réduction à des températures comprises entre 1 200 et 1 250 °C. Présentant des avantages en termes de performances non disponibles dans le matériau en carbure de silicium (SiC), le Silicon Wafer Boat offre des avantages pertinents pour les processus rigoureux requis par la fabrication de semi-conducteurs. Premièrement, l’ultra-haute pureté du matériau silicium est significative ; en fait, lematériau en siliciumatteint des niveaux de pureté ultra-haute supérieurs à 9N (99,9999999 %), garantissant ainsi qu'aucune impureté métallique ou étrangère ne contaminera le traitement des plaquettes. Ceci est crucial pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs de pointe, où la fiabilité des performances et le rendement sont fortement affectés par la contamination. Le Silicon Wafer Boat offre un environnement ultra-propre avec un haut niveau de pureté adapté aux exigences industrielles les plus avancées pour la manipulation de plaquettes exposées à des températures très élevées pour le traitement d’oxydation et de réduction.

Un autre avantage dumatériau en siliciumest ses propriétés de dureté inférieures par rapport au matériau SiC. Les barres ou bateaux SiC sont connus pour leur dureté et leur résistance, mais cette propriété même peut entraîner des difficultés lors du traitement des plaquettes. À des températures élevées, les plaquettes vont micro-bouger ; ils rebondiront légèrement, se déplaceront légèrement et se déformeront à l'intérieur du bateau. Un matériau SiC plus dur peut présenter des risques plus élevés de génération de particules ou de rayures à l'arrière de la tranche, car les propriétés de la tranche et du bateau interagissent dans ces conditions de traitement à haute température.

Le Silicon Wafer Boat atténue ce problème en tirant parti du caractère relativement mou du silicium par rapport au SiC. La réduction de la dureté permet à la fois de réduire la friction et les contraintes mécaniques lorsque les plaquettes entrent en contact avec le bateau pendant les cycles thermiques. En conséquence, les particules sont générées moins souvent et le risque de rayures au dos est réduit à presque zéro. De plus, en minimisant les défauts de surface, le Silicon Wafer Boat améliore directement la qualité du réseau et augmente le taux de qualification global des plaquettes traitées. Pour les usines de semi-conducteurs qui cherchent à améliorer leurs rendements avec un contrôle qualité maximal, cet état de performance fait du bateau en silicium une option attrayante.

Le silicium offre une bonne stabilité et résistance mécanique à haute température, permettant au bateau de fonctionner de manière fiable pendant des cycles de four répétés. Le matériau résiste à la déformation pendant les cycles de chauffage et de refroidissement et maintient ainsi une tolérance précise de placement et de positionnement de la tranche, même pendant des cycles de four rapides. Cette robustesse thermique fournit des résultats de processus fiables et suffisamment cohérents pour une production en grand volume avec une variation minimale entre les séries. Le Silicon Wafer Boat est construit avec une précision dimensionnelle élevée pour garantir un positionnement et un placement cohérents des plaquettes. Le bateau est fabriqué à l'aide d'un usinage et d'un polissage avancés pour créer des surfaces lisses, une géométrie étroite et des tolérances serrées.