Bateau sur socle en silicone

Semicorex Silicon Pedestal Boat est un support de tranche ultra-propre qui a été conçu avec une pureté et une précision élevées pour prendre en charge les processus de semi-conducteurs à haute température tels que l'oxydation, la diffusion et le LPCVD (dépôt chimique en phase vapeur à basse pression). Ce support de plaquette est fabriqué à partir de 9N (99,9999999 %)silicium de haute puretépour garantir une propreté exceptionnelle, une stabilité du coefficient de dilatation thermique et une précision mécanique pour le support des plaquettes et un contrôle cohérent des processus dans des environnements ultra-propres.

Alors que la géométrie des dispositifs semi-conducteurs continue de diminuer, le besoin de composants de manipulation de plaquettes ultra-propres et thermiquement compatibles n'a jamais été aussi demandé. Le bateau sur socle en silicium répond à ces exigences avec une précision dimensionnelle élevée et une pureté inégalée pour être utilisé dans les systèmes de fours avancés qui fonctionnent entre 1 100°C et 1 250°C.

La structure du bateau en silicium peut être personnalisée pour répondre aux exigences des clients, notamment la forme de la barre à rainure, la longueur des dents de la rainure, la forme, l'angle d'inclinaison et la capacité totale de chargement des tranches. Les bateaux en silicium à haute température peuvent réduire efficacement les dommages de contact sur les plaquettes de silicium, améliorant ainsi le rendement du processus. Sa conception en « tours antidérapantes » à haute température supporte les plaquettes uniquement au niveau de la pointe de la dent de support. Comparé au carbure de silicium, le silicium est relativement moins dur, ce qui réduit les dommages mécaniques aux tranches, améliorant ainsi la qualité du réseau et réduisant efficacement les coûts de production.

Le bateau à pied est disponible ensilicium monocristallin ou polycristallinpour éliminer les risques de contamination associés aux matériaux non silicium. La plate-forme partage la même composition chimique que les plaquettes activement utilisées, ce qui minimise les réactions indésirables ou la diffusion d'ions lors des processus à haute température. L'homogénéité des matériaux réduit considérablement l'identité physique des particules et des impuretés métalliques pour une qualité élevée et constante des plaquettes et un rendement élevé du dispositif tout au long de cycles de production répétés.

Le bateau sur socle en silicium Semicorex comporte des fentes pour plaquettes conçues avec précision, combinées à des structures de support verticales, garantissant que les plaquettes restent parfaitement alignées et espacées pendant le cycle de chauffage. Sa stabilité dimensionnelle est exceptionnelle, garantissant que le bateau sur socle ne se déformera pas, ne se pliera pas ou ne se déplacera pas à des températures extrêmes, assurant ainsi une bonne répartition de la température et du gaz sur chaque tranche. Cette stabilité dimensionnelle a un effet positif immédiat sur l’uniformité de l’épaisseur du film pendant l’oxydation et la diffusion et permet de réduire le nombre de défauts ainsi que d’améliorer la répétabilité du processus.

Le principal avantage du bateau sur socle en silicium réside dans ses propriétés mécaniques et thermiques optimisées. La dureté du silicium par rapport au SiC ou au quartz contribuera à réduire la génération de micro-rayures et de particules dues aux vibrations ou aux mouvements de la plaquette lors de l'expansion chauffée. Cela est particulièrement vrai pour les tranches sensibles à l'arrière, où l'intégrité de la surface de la tranche est essentielle au rendement et aux performances du dispositif.

Le bateau sur pied présente une bonne conductivité thermique et un faible coefficient de dilatation thermique qui fournit des caractéristiques de transfert de chaleur tout en conservant sa forme et sa solidité structurelle avec de multiples cycles de chauffage et de refroidissement. La conception robuste assure également une longue durée de vie avec une déformation minimale dans des conditions extrêmes de four.

Semicorex propose des conceptions personnalisées pour diverses configurations d'équipement, notamment le diamètre des plaquettes, le nombre d'emplacements, la hauteur du socle et les variations géométriques. Chaque produit est inspecté pour sa pureté, mesuré dimensionnellement et testé pour sa conductivité thermique, le tout pour répondre aux normes les plus élevées du processus de fabrication des semi-conducteurs.

Le bateau sur socle en silicium est compatible avec les processus d'oxydation et de diffusion ainsi qu'avec les applications LPCVD et de recuit nécessitant une uniformité de température et un contrôle de contamination inégalés. Le bateau sur pied en silicium est compatible avec d'autres composants du four au silicium tels que le tube d'injecteur, le tube de revêtement et le support de plaquette, maintenant ainsi la correspondance matérielle et thermique tout au long du système de traitement.