Anneaux Fendus Poly-Si

Les anneaux fendus en Poly-Si sont couramment installés dans la chambre de réaction des équipements avancés de gravure de semi-conducteurs. Ils fonctionnent en synergie avec les pièces en silicium, notamment le siliciumbagues de mise au point, anneaux extérieurs en silicium et siliciumpommes de douche. Ces pièces peuvent créer un environnement de réaction stable et optimal pour le processus de gravure, garantissant ainsi un excellentgravureprécision et cohérence des processus.

Fonctions des anneaux fendus Semicorex poly-Si

1. Les anneaux fendus Semicorex poly-Si sont équipés de plusieurs fentes uniformément réparties qui servent de passages de gaz, ce qui permet un échappement en douceur des gaz de traitement après la réaction.

2. Les anneaux fendus Semicorex poly-Si sont capables d'obtenir un excellent contrôle du plasma, offrant une protection fiable pour la chambre de réaction de l'équipement de gravure de semi-conducteurs.

3. Les anneaux fendus Semicorex poly-Si peuvent aider à ajuster le champ électrique et la pression de la chambre, empêchant ainsi l'instabilité d'affecter la cohérence du processus de gravure.

Sélection de matériaux de haute qualité

Les anneaux fendus Semicorex poly-Si sont fabriqués à partir de silicium polycristallin de haute qualité avec un niveau de pureté supérieur à 99,9999 %, ce qui leur confère les propriétés supérieures suivantes.

1. Ultra-haute pureté et teneur en impuretés extrêmement faible.

2. Résistance exceptionnelle à la corrosion du plasma.

3. Propriétés électriques favorables, avec uniformité de résistance : RRG ≤ 5 %, basse résolution. (<0,02), moyenne résolution. (1–4) et haute résolution. (70-90).

Capacités de fabrication et contrôle qualité

Équipé d'un équipement d'usinage avancé et d'une équipe technique expérimentée, Semicorex contrôle strictement chaque processus de production et propose à nos précieux clients des anneaux fendus en poly-Si de haute qualité et bien assortis. De plus, Semicorex effectue un contrôle strict des mesures dimensionnelles, des tests de résistivité et de l'inspection visuelle des anneaux fendus en poly-Si finis pour garantir qu'ils sont exempts de défauts tels que des éclats, des rayures, des fissures et des taches.