Composant ICP revêtu de SiC

Composant ICP revêtu de SiC

Le composant ICP revêtu de SiC de Semicorex est conçu spécifiquement pour les processus de manipulation de plaquettes à haute température tels que l'épitaxie et le MOCVD. Avec un revêtement en cristal SiC fin, nos supports offrent une résistance à la chaleur supérieure, une uniformité thermique uniforme et une résistance chimique durable.

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Description du produit

Le composant ICP revêtu de SiC de Semicorex est le premier choix pour les processus de manipulation de tranches qui nécessitent une résistance aux hautes températures et aux produits chimiques. Nos supports fournissent des profils thermiques uniformes, des modèles d'écoulement de gaz laminaire et empêchent la contamination ou la diffusion d'impuretés grâce à notre cristal SiC fin. Avec un revêtement en cristal SiC fin, nos supports offrent une résistance à la chaleur supérieure, une uniformité thermique uniforme et une résistance chimique durable.
Chez Semicorex, nous nous concentrons sur la fourniture de produits de haute qualité et rentables à nos clients. Notre composant ICP revêtu de SiC présente un avantage de prix et est exporté vers de nombreux marchés européens et américains. Nous visons à être votre partenaire à long terme, offrant des produits de qualité constante et un service client exceptionnel.
Contactez-nous dès aujourd'hui pour en savoir plus sur notre composant ICP revêtu de SiC.


Paramètres du composant ICP revêtu de SiC

Principales caractéristiques du revêtement CVD-SIC

Propriétés SiC-CVD

Structure en cristal

Phase β FCC

Densité

g/cm³

3.21

Dureté

Dureté Vickers

2500

Taille d'un grain

μm

2~10

Pureté chimique

%

99.99995

Capacité thermique

J·kg-1 ·K-1

640

Température de sublimation

2700

Force Felexurale

MPa (RT 4 points)

415

Module de Young

Gpa (pli 4pt, 1300â)

430

Dilatation Thermique (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Conductivité thermique

(W/mK)

300


Caractéristiques du composant ICP revêtu de SiC

- Éviter le décollement et assurer le revêtement sur toutes les surfaces

Résistance à l'oxydation à haute température : Stable à haute température jusqu'à 1600°C

Haute pureté : fabriqué par dépôt chimique en phase vapeur CVD dans des conditions de chloration à haute température.

Résistance à la corrosion : dureté élevée, surface dense et particules fines.

Résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.

- Obtenez le meilleur schéma d'écoulement de gaz laminaire

- Garantir l'uniformité du profil thermique

- Empêcher toute contamination ou diffusion d'impuretés





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