Porteurs de plaquettes enduites de sic

Les porteurs de plaquettes à revêtement semi-orecorex sont des composants avancés qui prennent en charge les tranches de processus à haute température dans des applications de semi-conducteur telles que la croissance épitaxiale, la diffusion et la MCV. Les transporteurs offrent des avantages structurels de graphite de haute pureté combinés à des avantages maximaux de surface en utilisant un dense et uniformeRevêtement sicPour une stabilité thermique optimale, une résistance chimique et une résistance mécanique dans des conditions de traitement ardues.

Core graphite de haute pureté pour une conductivité thermique optimale

Les porteurs de plaquettes enduits de SIC sont un matériau de substrat de graphite de grains ultra-fin et de haute pureté. Il s'agit d'un conducteur thermique efficace, à la fois léger et machinable, il peut être fabriqué en géométries complexes qui sont requises par la taille unique de la plaquette et les facteurs de processus. Le graphite offre un chauffage uniforme à la surface de la plaquette limitant la survenue de gradients thermiques et de défauts de traitement thermique.

Revêtement SIC dense pour la protection de la surface et la compatibilité des processus

Le support de graphite est recouvert de carbure de silicium CVD à haute pureté. Le revêtement SIC offre une protection imperméable et sans pore contre la corrosion, l'oxydation et la contamination des gaz de processus contre les espèces telles que l'hydrogène, le chlore et le silane. Le résultat final est un porteur à faible praticulé et difficile qui ne se dégrade pas ou ne perd pas de stabilité dimensionnelle, choisit de soumettre à de nombreux cycles thermiques et représente un potentiel considérablement diminué de contamination par la plaquette.

Avantages et fonctionnalités clés

Résistance thermique: les revêtements SIC sont stables à des températures dépassant 1600 ° C, ce qui est optimisé pour les besoins d'épitaxie et de diffusion à haute température.

Excellent résistant aux produits chimiques: il résiste à tous les gaz de processus corrosifs et aux produits chimiques de nettoyage, et permet une durée de vie plus longue et moins de temps d'arrêt.

Faible génération de particules: la surface du SIC minimise l'écaillage et le dégagement des particules et maintient le nettoyage de l'environnement de processus vital pour le rendement de l'appareil.

Contrôle de dimension: conçu avec précision pour fermer les tolérances pour assurer un support uniforme de la plaquette afin qu'il puisse être automatiquement géré avec des plaquettes.

Réduction des coûts: les cycles de vie plus longs et les besoins de maintenance moins élevés offrent un coût total de possession (TCO) plus faible que les graphites traditionnels ou les transporteurs nus.

Applications:

Les porteurs de plaquettes à revêtement SIC sont largement utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs de puissance, de semi-conducteurs composés (tels que GAn, SIC), MEMS, LED et autres dispositifs nécessitant un traitement à haute température dans des environnements chimiques agressifs. Ils sont particulièrement essentiels dans les réacteurs épitaxiaux, où la propreté de surface, la durabilité et l'uniformité thermique influencent directement la qualité des tranches et l'efficacité de la production.

Personnalisation et contrôle de la qualité

SemicoréxEnduit de sicLes porteurs de plaquettes sont produits sous des protocoles de contrôle de qualité stricts. Nous avons également une flexibilité avec des tailles et des configurations standard, et nous pouvons concevoir des solutions personnalisées qui répondent aux exigences des clients. Que vous ayez un format de plaquette de 4 pouces ou 12 pouces, nous pouvons optimiser les porteurs de plaquettes pour les réacteurs horizontaux ou verticaux, le traitement par lots ou à la plaquette unique et des recettes d'épitaxy spécifiques.