Récepteur de disque SiC

Avec un engagement profond envers la qualité et l'innovation, le suscepteur de disque SiC ultra-pur de Semicorex établit une nouvelle norme en matière de performances dans les équipements d'épitaxie, MOCVD et RTP. En combinant une résistance exceptionnelle aux chocs thermiques, une conductivité thermique supérieure, une résistance chimique exceptionnelle et une pureté ultra élevée, ces composants techniques permettent aux fabricants de semi-conducteurs d'atteindre une efficacité, une fiabilité et une qualité de produit inégalées. Les solutions personnalisables de Semicorex garantissent en outre que chaque application de traitement thermique bénéficie de composants optimisés et conçus avec précision, conçus pour répondre à ses exigences uniques.

Résistance exceptionnelle aux chocs thermiques :Le suscepteur de disque SiC excelle dans la résistance aux fluctuations rapides de température, qui sont courantes dans le RTP et d'autres processus à haute température. Cette résistance exceptionnelle aux chocs thermiques garantit l'intégrité structurelle et la longévité, minimisant le risque de dommages ou de défaillance dus à des changements brusques de température et améliorant la fiabilité de l'équipement de traitement thermique.

Conductivité thermique supérieure :Un transfert de chaleur efficace est essentiel dans les applications de traitement thermique. L'excellente conductivité thermique du suscepteur à disque SiC garantit un chauffage et un refroidissement rapides et uniformes, essentiels pour un contrôle précis de la température et l'uniformité du processus. Cela conduit à une efficacité améliorée des processus, à des temps de cycle réduits et à des tranches semi-conductrices de meilleure qualité.

Résistance chimique exceptionnelle :Le suscepteur à disque SiC offre une résistance exceptionnelle à une large gamme de produits chimiques corrosifs et réactifs utilisés dans les processus d'épitaxie, MOCVD et RTP. Cette inertie chimique protège le graphite sous-jacent de la dégradation, empêche la contamination de l'environnement du processus et garantit des performances constantes sur des périodes de fonctionnement prolongées.

Ultra-haute pureté : Le suscepteur de disque SiC est fabriqué selon des normes de pureté ultra-élevées pour le revêtement en graphite et en SiC, évitant ainsi tout risque de contamination et garantissant la production de dispositifs semi-conducteurs sans défauts. Cet engagement envers la pureté signifie des rendements plus élevés et des performances améliorées de l’appareil.

Disponibilité des formes complexes :Les capacités de fabrication avancées de Semicorex permettent la production du suscepteur de disque SiC dans des formes complexes adaptées aux exigences spécifiques des clients. Cette flexibilité permet la conception de solutions personnalisées qui répondent aux besoins précis de diverses applications de traitement thermique, améliorant ainsi l'efficacité des processus et la compatibilité des équipements.

Utilisable en atmosphère oxydante :Le revêtement CVD SiC robuste offre une excellente protection contre l'oxydation, permettant au suscepteur de disque SiC de fonctionner de manière fiable dans des environnements oxydants. Cela étend leur applicabilité à une gamme plus large de processus thermiques, garantissant polyvalence et adaptabilité.

Performance robuste et reproductible :Conçu pour les environnements à haute température et sous vide, le Susceptor à disque SiC offre des performances robustes et reproductibles. Sa durabilité et sa cohérence les rendent idéales pour les applications critiques de traitement thermique, réduisant les temps d'arrêt, les coûts de maintenance et garantissant une fiabilité opérationnelle à long terme.

Semicorex se spécialise dans la personnalisation de composants à revêtement CVD SiC pour répondre aux divers besoins des équipements de traitement thermique, notamment :

Diffuseurs :Améliorez l’uniformité de la distribution du gaz et la cohérence du processus.

Isolateurs :Fournit une isolation thermique et une protection dans les environnements à haute température.

Autres composants thermiques personnalisés :Solutions sur mesure conçues pour répondre aux exigences spécifiques des processus et optimiser les performances des équipements.