Semicorex est votre partenaire pour l'amélioration du traitement des semi-conducteurs. Nos revêtements en carbure de silicium sont denses, résistants aux températures élevées et aux produits chimiques, et sont souvent utilisés dans tout le cycle de fabrication des semi-conducteurs, y compris le traitement des plaquettes de semi-conducteurs et la fabrication des semi-conducteurs.
Les composants céramiques SiC de haute pureté sont essentiels aux processus dans les semi-conducteurs. Notre offre s'étend des pièces consommables pour les équipements de traitement de plaquettes, telles que les bateaux à plaquettes en carbure de silicium, les palettes en porte-à-faux, les tubes, etc. pour l'épitaxie ou le MOCVD.
Avantages pour les procédés semi-conducteurs
Les phases de dépôt de couches minces telles que l'épitaxie ou le MOCVD, ou les traitements de manipulation de plaquettes tels que la gravure ou l'implantation ionique doivent supporter des températures élevées et un nettoyage chimique agressif. Semicorex fournit une construction en carbure de silicium (SiC) de haute pureté offrant une résistance thermique supérieure et une résistance chimique durable, ainsi qu'une uniformité thermique uniforme pour une épaisseur et une résistance constantes de la couche épi.
Couvercles de chambre →
Les couvercles de chambre utilisés dans le traitement de la croissance cristalline et de la manipulation des plaquettes doivent résister à des températures élevées et à un nettoyage chimique agressif.
Pagaie en porte-à-faux →
La palette en porte-à-faux est un composant crucial utilisé dans les processus de fabrication de semi-conducteurs, en particulier dans les fours de diffusion ou LPCVD lors de processus tels que la diffusion et le RTP.
Tube de traitement →
Process Tube est un composant crucial, spécifiquement conçu dans diverses applications de traitement de semi-conducteurs telles que RTP et diffusion.
Bateaux à plaquettes →
Wafer Boat est utilisé dans le traitement des semi-conducteurs, il a été méticuleusement conçu pour garantir la sécurité des plaquettes délicates pendant les étapes critiques de la production.
Anneaux d'entrée →
Anneau d'entrée de gaz recouvert de SiC par équipement MOCVD. La croissance du composé présente une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion, ce qui présente une grande stabilité dans un environnement extrême.
Bague de mise au point →
Semicorex fournit une bague de mise au point recouverte de carbure de silicium qui est vraiment stable pour le RTA, le RTP ou le nettoyage chimique agressif.
Mandrin à plaquettes →
Les mandrins de plaquettes sous vide en céramique ultra-plats Semicorex sont recouverts de SiC de haute pureté et utilisés dans le processus de manipulation des plaquettes.
Semicorex propose également des produits céramiques en alumine (Al2O3), nitrure de silicium (Si3N4), nitrure d'aluminium (AIN), zircone (ZrO2), céramique composite, etc.
Semicorex Alumina Fastener fait partie intégrante de la construction d’équipements utilisés dans le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), l’implantation ionique, la photolithographie et la fabrication de semi-conducteurs.
En savoir plusenvoyer une demandeL'arbre de pompe Semicorex SiC se distingue par ses performances et sa fiabilité inégalées en tant que composant intégral des pompes magnétiques, des pompes à bouclier, des pompes multicellulaires, des pompes hydrauliques, des pompes chimiques et des centrifugeuses.
En savoir plusenvoyer une demandeConçu pour résister à des conditions extrêmes, le creuset en céramique AlN présenté par Semicorex est un outil indispensable pour les professionnels travaillant avec des métaux non ferreux et des matériaux semi-conducteurs comme l'arséniure de gallium.
En savoir plusenvoyer une demandeAlumina Boat de Semicorex trouve sa niche dans l'industrie des semi-conducteurs, les machines générales et les processus à haute température, s'avérant indispensable pour les professionnels en quête de fiabilité et de précision.
En savoir plusenvoyer une demandeLa plaque céramique Semicorex SiC offre des performances inégalées dans les environnements nécessitant une résistance à l'usure, à la corrosion et une stabilité à haute température. Ce produit est conçu pour être utilisé comme plaques de revêtement et pièces de support dans une variété d'applications exigeantes.
En savoir plusenvoyer une demandeLe disque céramique Semicorex AlN se distingue comme un matériau aux capacités exceptionnelles, apprécié pour sa combinaison unique de propriétés thermiques, mécaniques et électriques. Chez Semicorex, nous sommes à l'avant-garde de la fabrication de disques en céramique AlN, garantissant que ces composants répondent aux exigences strictes de la technologie moderne et des applications industrielles.**
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