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Semicorex est votre partenaire pour l'amélioration du traitement des semi-conducteurs. Nos revêtements en carbure de silicium sont denses, résistants aux températures élevées et aux produits chimiques, et sont souvent utilisés dans tout le cycle de fabrication des semi-conducteurs, y compris le traitement des plaquettes de semi-conducteurs et la fabrication des semi-conducteurs.

Les composants céramiques SiC de haute pureté sont essentiels aux processus dans les semi-conducteurs. Notre offre s'étend des pièces consommables pour les équipements de traitement de plaquettes, telles que les bateaux à plaquettes en carbure de silicium, les palettes en porte-à-faux, les tubes, etc. pour l'épitaxie ou le MOCVD.


Avantages pour les procédés semi-conducteurs

Les phases de dépôt de couches minces telles que l'épitaxie ou le MOCVD, ou les traitements de manipulation de plaquettes tels que la gravure ou l'implantation ionique doivent supporter des températures élevées et un nettoyage chimique agressif. Semicorex fournit une construction en carbure de silicium (SiC) de haute pureté offrant une résistance thermique supérieure et une résistance chimique durable, ainsi qu'une uniformité thermique uniforme pour une épaisseur et une résistance constantes de la couche épi.


Couvercles de chambre →
Les couvercles de chambre utilisés dans le traitement de la croissance cristalline et de la manipulation des plaquettes doivent résister à des températures élevées et à un nettoyage chimique agressif.


Pagaie en porte-à-faux →
La palette en porte-à-faux est un composant crucial utilisé dans les processus de fabrication de semi-conducteurs, en particulier dans les fours de diffusion ou LPCVD lors de processus tels que la diffusion et le RTP.


Tube de traitement →
Process Tube est un composant crucial, spécifiquement conçu dans diverses applications de traitement de semi-conducteurs telles que RTP et diffusion.


Bateaux à plaquettes →
Wafer Boat est utilisé dans le traitement des semi-conducteurs, il a été méticuleusement conçu pour garantir la sécurité des plaquettes délicates pendant les étapes critiques de la production.


Anneaux d'entrée →
Anneau d'entrée de gaz recouvert de SiC par équipement MOCVD. La croissance du composé présente une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion, ce qui présente une grande stabilité dans un environnement extrême.


Bague de mise au point →
Semicorex fournit une bague de mise au point recouverte de carbure de silicium qui est vraiment stable pour le RTA, le RTP ou le nettoyage chimique agressif.


Mandrin à plaquettes →
Les mandrins de plaquettes sous vide en céramique ultra-plats Semicorex sont recouverts de SiC de haute pureté et utilisés dans le processus de manipulation des plaquettes.


Semicorex propose également des produits céramiques en alumine (Al2O3), nitrure de silicium (Si3N4), nitrure d'aluminium (AIN), zircone (ZrO2), céramique composite, etc.


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Manchon d'essieu SiC

Manchon d'essieu SiC

Semicorex fournit des céramiques de qualité semi-conductrice pour vos outils de semi-fabrication OEM et vos composants de manipulation de plaquettes. Nous sommes fabricant et fournisseur de films de revêtement en carbure de silicium depuis de nombreuses années. Notre manchon d'essieu SiC présente un bon avantage en termes de prix et couvre la plupart des marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Mandrin de plaquette à semi-conducteur

Mandrin de plaquette à semi-conducteur

Les composants avancés à revêtement en carbure de silicium de haute pureté Semicorex sont conçus pour résister aux environnements extrêmes du processus de manipulation des plaquettes. Notre mandrin à plaquettes semi-conductrices présente un bon avantage en termes de prix et couvre de nombreux marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Mandrin à vide pour plaquettes

Mandrin à vide pour plaquettes

Parfaits pour les applications de lithographie et de manipulation de plaquettes de nouvelle génération, les composants en céramique ultra-pure Semicorex garantissent une contamination minimale et offrent des performances de durée de vie exceptionnellement longues. Notre mandrin à vide pour plaquettes présente un bon avantage en termes de prix et couvre de nombreux marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Bagues de focalisation durables pour le traitement des semi-conducteurs

Bagues de focalisation durables pour le traitement des semi-conducteurs

Les bagues de focalisation durables Semicorex pour le traitement des semi-conducteurs sont conçues pour résister aux environnements extrêmes des chambres de gravure au plasma utilisées dans le traitement des semi-conducteurs. Nos bagues de mise au point sont fabriquées en graphite de haute pureté recouvert d'un revêtement dense et résistant à l'usure en carbure de silicium (SiC). Le revêtement SiC présente des propriétés élevées de résistance à la corrosion et à la chaleur, ainsi qu'une excellente conductivité thermique. Nous appliquons du SiC en fines couches sur le graphite en utilisant le procédé de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) pour améliorer la durée de vie de nos bagues de mise au point.

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Bague de mise au point pour le traitement au plasma

Bague de mise au point pour le traitement au plasma

La bague de mise au point pour le traitement au plasma Semicorex est spécialement conçue pour répondre aux exigences élevées du traitement de gravure au plasma dans l'industrie des semi-conducteurs. Nos composants avancés à revêtement en carbure de silicium de haute pureté sont conçus pour résister aux environnements extrêmes et conviennent à une utilisation dans diverses applications, notamment les couches de carbure de silicium et les semi-conducteurs d'épitaxie.

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Bagues de mise au point SiC

Bagues de mise au point SiC

Les anneaux de mise au point SiC avancés et de haute pureté Semicorex sont conçus pour résister aux environnements extrêmes dans les chambres de gravure au plasma (ou de gravure sèche). Nous nous concentrons sur les industries des semi-conducteurs telles que les couches de carbure de silicium et les semi-conducteurs épitaxiés. Nos produits ont un bon avantage de prix et couvrent de nombreux marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Semicorex produit Céramique depuis de nombreuses années et est l'un des fabricants et fournisseurs professionnels de Céramique en Chine. Une fois que vous avez acheté nos produits avancés et durables qui fournissent un emballage en vrac, nous garantissons la grande quantité dans une livraison rapide. Au fil des ans, nous avons fourni à nos clients un service personnalisé. Les clients sont satisfaits de nos produits et de notre excellent service. Nous sommes sincèrement impatients de devenir votre partenaire commercial fiable à long terme ! Bienvenue pour acheter des produits de notre usine.
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