Semicorex est votre partenaire pour l'amélioration du traitement des semi-conducteurs. Nos revêtements en carbure de silicium sont denses, résistants aux températures élevées et aux produits chimiques, et sont souvent utilisés dans tout le cycle de fabrication des semi-conducteurs, y compris le traitement des plaquettes de semi-conducteurs et la fabrication des semi-conducteurs.
Les composants céramiques SiC de haute pureté sont essentiels aux processus dans les semi-conducteurs. Notre offre s'étend des pièces consommables pour les équipements de traitement de plaquettes, telles que les bateaux à plaquettes en carbure de silicium, les palettes en porte-à-faux, les tubes, etc. pour l'épitaxie ou le MOCVD.
Avantages pour les procédés semi-conducteurs
Les phases de dépôt de couches minces telles que l'épitaxie ou le MOCVD, ou les traitements de manipulation de plaquettes tels que la gravure ou l'implantation ionique doivent supporter des températures élevées et un nettoyage chimique agressif. Semicorex fournit une construction en carbure de silicium (SiC) de haute pureté offrant une résistance thermique supérieure et une résistance chimique durable, ainsi qu'une uniformité thermique uniforme pour une épaisseur et une résistance constantes de la couche épi.
Couvercles de chambre →
Les couvercles de chambre utilisés dans le traitement de la croissance cristalline et de la manipulation des plaquettes doivent résister à des températures élevées et à un nettoyage chimique agressif.
Pagaie en porte-à-faux →
La palette en porte-à-faux est un composant crucial utilisé dans les processus de fabrication de semi-conducteurs, en particulier dans les fours de diffusion ou LPCVD lors de processus tels que la diffusion et le RTP.
Tube de traitement →
Process Tube est un composant crucial, spécifiquement conçu dans diverses applications de traitement de semi-conducteurs telles que RTP et diffusion.
Bateaux à plaquettes →
Wafer Boat est utilisé dans le traitement des semi-conducteurs, il a été méticuleusement conçu pour garantir la sécurité des plaquettes délicates pendant les étapes critiques de la production.
Anneaux d'entrée →
Anneau d'entrée de gaz recouvert de SiC par équipement MOCVD. La croissance du composé présente une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion, ce qui présente une grande stabilité dans un environnement extrême.
Bague de mise au point →
Semicorex fournit une bague de mise au point recouverte de carbure de silicium qui est vraiment stable pour le RTA, le RTP ou le nettoyage chimique agressif.
Mandrin à plaquettes →
Les mandrins de plaquettes sous vide en céramique ultra-plats Semicorex sont recouverts de SiC de haute pureté et utilisés dans le processus de manipulation des plaquettes.
Semicorex propose également des produits céramiques en alumine (Al2O3), nitrure de silicium (Si3N4), nitrure d'aluminium (AIN), zircone (ZrO2), céramique composite, etc.
Les propriétés matérielles avancées du tube de four à diffusion Semicorex SiC, notamment une résistance élevée à la flexion, une résistance exceptionnelle à l'oxydation et à la corrosion, une résistance élevée à l'usure, un faible coefficient de frottement, des propriétés mécaniques supérieures à haute température et une ultra-haute pureté, le rendent indispensable dans l'industrie des semi-conducteurs. , en particulier pour les applications de fours à diffusion. Chez Semicorex, nous nous engageons à fabriquer et à fournir des tubes de four à diffusion SiC hautes performances qui allient qualité et rentabilité.**
En savoir plusenvoyer une demandeAvec des propriétés matérielles de haute qualité, le bateau de diffusion Semicorex SiC représente une fonctionnalité optimale sur un large spectre de paramètres opérationnels : dureté, résilience, résistance thermique et chimique, etc. Ce choix de matériau est crucial pour réduire les risques de contamination, protéger les plaquettes et supporter le conditions exigeantes présentes dans les processus de fabrication de semi-conducteurs. Chez Semicorex, nous nous engageons à fabriquer et à fournir des bateaux de diffusion SiC hautes performances qui allient qualité et rentabilité.**
En savoir plusenvoyer une demandeLa plaque de gravure Semicorex ICP est un composant avancé et hautes performances spécialement conçu pour les applications de semi-conducteurs, fabriqué à partir d'un matériau en carbure de silicium (SiC). Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine*.
En savoir plusenvoyer une demandeLe réflecteur Semicorex SiC est un élément essentiel dans divers processus de fabrication de semi-conducteurs. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine*.
En savoir plusenvoyer une demandeLes plaques de transfert de chaleur en céramique Semicorex SiC, basées sur le SiC comme matériau principal, subissent un frittage à haute température à 2 250 °C, ce qui donne un corps en céramique dense hautement vitrifié et sans porosité avec une teneur en SiC ≥ 99,3 %. Présentant une résistance à la flexion de ≥410MPa et une conductivité thermique de 140W/m.k, ces céramiques sont les seuls matériaux capables de résister à la corrosion des acides forts tels que l'acide fluorhydrique (HF) et l'acide sulfurique (H2SO4) dans l'industrie des semi-conducteurs. Chez Semicorex, nous nous engageons à fabriquer et à fournir des plaques de transfert de chaleur en céramique SiC hautes performances qui allient qualité et rentabilité. **
En savoir plusenvoyer une demandeLes pièces structurelles en céramique de carbure de silicium Semicorex, obtenues à partir de grains de carbure de silicium liés ensemble par frittage, sont largement utilisées dans les secteurs de l'automobile, de la mécanique, de la chimie, des semi-conducteurs, de la technologie spatiale, de la microélectronique et de l'énergie, remplissant des rôles essentiels dans diverses applications dans ces industries. En raison de leurs propriétés remarquables, les pièces structurelles en céramique de carbure de silicium sont devenues un matériau idéal pour les conditions difficiles caractérisées par des températures élevées, des pressions élevées, de la corrosion et de l'abrasion, offrant des performances fiables et une longévité dans des environnements opérationnels difficiles.**
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