Tuyaux SIC

Les tuyaux SIC semicoréxes sont des pièces en céramique pour les systèmes de fournaise semi-conducteurs.  Ils ont des propriétés uniques qui incluent une transmission thermique élevée et une résistance à haute température et chimique qui est requise dans les applications semi-conductrices où des conditions environnementales à haute température et chimique sont extrêmement attendues et où les propriétés sont souhaitables - durabilité, efficacité énergétique et conditions de processus stables uniques - qui permet aux utilisations d'être économiques dans les environnements de fabrication de semi-conducteurs avancés.

Les tuyaux SIC semicorex utilisent un grain fine de haute puretécarbure de siliciumqui est fabriqué pour avoir une stabilité mécanique à haute température exceptionnelle en raison des méthodes et techniques avancées de frittage et de recristallisation. L'activation du SIC haute performance entraîne une résistance mécanique exceptionnelle et la rétention de la stabilité thermique à des températures de fonctionnement élevées. Le SIC a une dureté exceptionnelle qui atténue l'usure ou une déformation potentielle.  De plus, les attributs associés aux propriétés du SIC sont des coefficients à faible teneur en carburant de l'expansion thermique sont bénéfiques car ils limitent la contrainte thermique car il y aura des exigences pour le cycle de ce matériau entre une chaleur de fonctionnement extrême et faible. Dans toutes ces considérations, ils ont un service public spécial pour des applications idéales dans les fours de diffusion, les fours à oxydation et les systèmes LPCVD / PECVD pour maintenir un maximum de conditions de processus stables sont bénéfiques à éliminer ou à limiter les défauts qui sont également des métriques liées à la plaquette ou au matériel avec des conditions de processus hautement stables.

Une autre utilité importante des tuyaux SIC est les profils de conduction thermique élevés dans des conditions spécifiques et les conceptions de fournaises applicables pour produire des taux élevés de conducteur et, surtout, une distribution égale et régulière de la température à travers le processus.  Ce comportement fiable permet aux tranches d'exposition à des distributions de température semi-égales dans des intervalles de temps raisonnables et à limiter en outre les gradients thermiques pour atténuer les plaquettes déformées et / ou défectueuses tout en améliorant les conditions de dépôt de films.

La stabilité chimique et la résistance sont un autre facteur de performance important.  Dans les processus semi-conducteurs, le tube de la fournaise est soumis à l'influence de gaz hautement réactifs, notamment l'oxygène, l'hydrogène, l'ammoniac et tous les halogènes, qui peuvent dégrader les matériaux conventionnels rapidement. La microstructure dense et non poreuse, ainsi que la nature chimiquement inerte du SIC, la protègent contre l'oxydation et la corrosion tout en offrant des performances opérationnelles et mécaniques dans l'environnement de processus extrême.  La durabilité des fours SiC les aide à maintenir l'intégrité de la forme et de la précision dimensionnelle sur de longues périodes, ce qui est important pour le contrôle et la stabilité des processus.

Les tuyaux SIC peuvent être fabriqués dans une large gamme de tailles et d'épaisses de paroi, formées géométriquement pour adapter les conceptions de la fournaise et les besoins de processus.  Les caractéristiques exactes d'usinage de précision sont également maintenues lors de la conception et de la production de tuyaux SIC afin que les tolérances opérationnelles puissent être serrées, avec des surfaces internes lisses et une excellente concentricité pour maintenir un équilibre de débit de gaz laminaire et de profils thermiques uniformes. Le polissage et les revêtements de surface peuvent être fournis comme options de traitement qui amélioreront les performances en réduisant la génération de particules et en améliorant la résistance à la corrosion.

Les tuyaux SIC ont des avantages opérationnels et de coûts clairs par rapport aux matériaux alternatifs comme le quartz ou les tuyaux en alumine.  Le coût initial des composants SIC peut être légèrement plus élevé, mais la durée de vie du produit, la réduction de la rupture et les exigences de maintenance réduites entraînent un coût total de possession qui est une baisse des coûts que les matériaux et les tuyaux alternatifs.

Pour conclure, semicoréxSicLes tuyaux sont la meilleure option pour les applications de fournaise semi-conductrices, car elles fournissent les meilleures performances thermiques, la résistance mécanique, la résistance chimique et la fiabilité pour les environnements de production exigeants. Ce matériau améliore la stabilité des processus et aide les économies et l'efficacité des coûts en bas de la route (c'est-à-dire une consommation d'énergie plus faible). Les tuyaux SIC sont un matériau fondamental pour la fabrication moderne des semi-conducteurs.