Bateaux verticaux sic

Les bateaux verticaux semi-orecorex sont des porteurs de plaquettes conçus, conçus et fabriqués pour offrir la stabilité thermique, mécanique et chimique la plus élevée pour le traitement vertical des semi-conducteurs. Construit en haute puretécarbure de silicium, nous pensons qu'ils sont le meilleur équilibre de force, de durabilité et de propreté pour un traitement thermique très avancé, considéré comme l'oxydation, la diffusion, le LPCVD et le recuit dans des systèmes de fourneaux verticaux.

Les environnements de traitement de la fournaise verticale nécessitent un système de support de plaque qui peut résister à des expositions répétées à haute température, dépassant souvent 1 200 ° C et rester dimensionnuellement stable sans problèmes de contamination. Les bateaux verticaux SIC excellent dans leur robustesse dans ces situations en raison des propriétés mécaniques et thermiques intrinsèques du carbure de silicium recristallisé ou CVD. Leur coefficient de dilatation thermique extrêmement faible garantit une chaîne ou une distorsion minimale due au cycle thermique rapide. De plus, la conductivité thermique élevée, offre la plus grande homogénéité de température locale dans toutes les plaquettes, ce qui est essentiel pour la consistance de la tranche à volonté dans l'épaisseur de la couche, les profils de dopage et les performances électriques; Aspects importants de la fabrication à haut volume dans l'industrie des semi-conducteurs.

Par rapport aux bateaux de quartz traditionnels, les bateaux verticaux sic offrent une résistance mécanique supérieure et une durée de vie prolongée. Le quartz a tendance à devenir cassant et à dévitrifier au fil du temps, en particulier dans les chimies agressives des fournais, entraînant des coûts de remplacement plus élevés et des interruptions de production potentielles. En revanche, le carbure de silicium maintient son intégrité même après une exposition prolongée à des gaz corrosifs tels que le chlore, le HCl ou l'ammoniac, qui sont communs dans divers processus de diffusion et de LPCVD. Sa résistance à l'usure et à l'oxydation exceptionnelles réduit considérablement la génération de particules, aidant à protéger les surfaces de tranche à partir de la formation de contamination et de défaut.

Les bateaux verticaux SIC offrent également un avantage significatif en termes de traitement ultra-nettoyé. Le matériau SIC de haute pureté est traité sous une diligence stricte pour réduire les métaux de contamination des traces identifiables qui peuvent interférer avec les caractéristiques opérationnelles des dispositifs semi-conducteurs. Les surfaces du bateau vertical SIC sont bien finies avec des caractéristiques à angle droit qui minimisent les chances de dégirement de micro-particules. Les surfaces SIC sont chimiquement inertes et ne réagissent pas avec les gaz de processus et sont donc moins sujettes à la contamination. À cet égard, les bateaux verticaux SIC sont bien adaptés aux opérations de traitement de la plaquette avant de la ligne avant de la ligne (FEOL).

Les bateaux verticaux SIC offrent également une flexibilité de conception. Chaque bateau vertical peut être spécifique à la conception pour accueillir plusieurs diamètres de plaquettes (150 mm, 200 mm ou 300 mm de tranches) et le numéro de fente et l'espacement peuvent être utilisés pour répondre aux exigences du processus. L'usinage de précision et le contrôle dimensionnel permettent un alignement de plaquette approprié et un support de plaquette minimisant la probabilité de tout micro-rayures ou fissures de contrainte pendant le chargement, le traitement et le déchargement. De plus, si une uniformité de température supérieure et / ou moins de masse thermique sont nécessaires pour un processus particulier, des géométries optimisées et des conceptions de machines à sous peuvent être incorporées dans des configurations de bateaux verticaux SIC, sans sacrifier les propriétés mécaniques.

Un autre avantage est la maintenance et l'efficacité opérationnelle. La construction rigide deSicLes bateaux verticaux réduisent le temps et la fréquence de remplacement, minimisant ainsi les temps d'arrêt ou le coût de possession. La résistance aux chocs thermiques du SIC permet des cycles plus courts de chauffage et de refroidissement pour fournir un débit plus élevé sur les lignes de production. L'entretien ou le nettoyage des bateaux verticaux SIC est également très simple; Le matériau peut supporter la plupart des processus de nettoyage humide ou sec conventionnels communs dans les FAB semi-conducteurs tels que le nettoyage chimique avec des acides et la cuisson à haute température.

Dans cette ère moderne de fabrication sophistiquée de semi-conducteurs où l'amélioration des rendements, le contrôle de la contamination et la stabilité dans le processus ont toute importance, les bateaux verticaux sic offrent un véritable avantage technologique. Ils traitent bien les défis physiques et chimiques des applications de fournaise verticale et contribuent à l'optimisation globale des processus en fournissant une intégrité de la tranche, des résultats cohérents et une durée de vie plus longue de l'équipement.