Boats sic de fournaise de chambre horizontale

Les bateaux SIC SIC SIC de chambre horizontale semicoréx sont une partie très conçue qui contient et transporte des plaquettes ou des substrats alors qu'ils sont soumis à un traitement thermique à haute température dans une fournaise de chambre horizontale. Le wafer est fait de sic de haute pureté carbure de silicium (sic), qui fournit la combinaison unique de résistance, de stabilité thermique et de résistance chimique élevée qui sont demandées dans les processus de céramique semi-conducteurs, photovoltaïques et avancés. Le bateau à plaquette agit également comme une structure rigide pour maintenir les plaquettes en position, la stabilité dimensionnelle et la précision des plaquettes ne seront pas perdues par une exposition prolongée aux températures du processus extrêmes.

Les propriétés supérieures du carbure de silicium fournissent les bateaux sic de la fournaise de chambre horizontale un avantage de performance supérieur par rapport aux matériaux typiques pour les bateaux à plaquettes tels que le quartz ou l'alumine. Ils peuvent mieux résister à des cycles de chauffage et de refroidissement peu fréquents en raison de leur point de fusion élevé, de leur résistance aux chocs thermiques et de leur résistance mécanique, quelle que soit la vitesse du chauffage et du refroidissement ou des extrêmes du cycle thermique. Étant donné qu'une fournaise horizontale repose entièrement sur la cohérence des positions des plaquettes et l'exposition aux conditions de processus, un bon alignement des plaquettes prévoit un rendement et une répétabilité de processus cohérents. Le faible coefficient d'expansion thermique signifie que le bateau ne se déformera pas au cours de sa durée de vie et ne fournira pas la forme et l'espacement conservés des plaquettes.

La structure dense à grains fins du sic recristallisé fournit une résistance remarquable à l'oxydation, à la corrosion et à la contamination par les gaz de processus et les sous-produits. Cela rend le bateau particulièrement avantageux pour les processus dans des atmosphères agressives telles que la diffusion, l'oxydation, le LPCVD et le recuit. L'inertie chimique élevée du SIC évite les réactions avec les surfaces de la plaquette, préservant ainsi la pureté du produit et minimisant la génération de particules dans la fournaise. Les bateaux SIC peuvent aider les fabricants qui ont besoin de répondre à des demandes de propreté strictes, à fournir des environnements de traitement plus propres et à améliorer la qualité des plaquettes.

Ces bateaux peuvent être produits avec diverses géométries complexes et des dimensions spécifiques à une partie avec des techniques d'usinage et de formation de précision. Les conceptions utilisent généralement plusieurs machines à sous parallèles / rainures pour maintenir les plaquettes en toute sécurité dans une orientation horizontale et exposer uniformément la surface entière de la tranche à des conditions thermiques. L'espacement et les angles de l'emplacement peuvent également être optimisés pour s'adapter aux plaquettes d'autres diamètres, tels que 150 mm, 200 mm ou 300 mm, et le flux d'air direct pendant les effets de traitement tout en atteignant l'uniformité de la température pour le traitement.

Non seulement les bateaux de sic de fournaise de chambre horizontale peuvent être conçus dans les départs standard, mais ils peuvent être conçus pour fonctionner avec des chargeurs automatisés, entraînant une intégration transparente dans les lignes de production modernes à haut débit. La conception robuste rendra également les bateaux moins susceptibles de découper ou de se casser pendant la manipulation et de réduire les temps d'arrêt et les coûts de remplacement.

La conductivité thermique decarbure de siliciumreprésente un autre avantage clé qui facilite un transfert de chaleur efficace entre les plaquettes et l'environnement de la fournaise. L'avantage est que les fabricants sont en mesure d'atteindre des conditions de traitement plus uniformes et de raccourcir les temps de cycle, ce qui peut augmenter l'efficacité de la production. Les bateaux SIC fournissent des résultats cohérents et reproductibles, qu'ils soient utilisés pour la fabrication de plaquettes semi-conducteurs, la fabrication de cellules solaires ou d'autres matériaux avancés à des températures élevées.

En résumé, les bateaux SIC de la fournaise de chambre horizontale sont un élément clé pour les fabricants qui cherchent à produire des plaquettes avec des porte-plaquettes haute performance, durable et résistante à la contamination. Il a une résistance mécanique, une stabilité thermique et une inertie chimique qui est inégalée dans les applications de fours horizontales. En choisissant des bateaux en carbure de silicium, les opérateurs peuvent tirer parti d'un meilleur contrôle des processus, des rendements plus élevés et minimiser les interruptions opérationnelles dues à l'entretien. Dans l'ensemble, il prévoit des productions plus efficaces et rentables.