Miroirs à balayage en carbure de silicium

Les miroirs à balayage en carbure de silicium semicoréx sont la prochaine génération de dispositifs optiques haute performance.  Développés pour le monde accéléré du balayage, les miroirs fournissent la dernière génération de capacités de direction et de balayage des faisceaux pour les applications nécessitant une vitesse très élevée, un degré élevé de stabilité et une précision. Carbure de siliciumLes miroirs à balayage ont des attributs uniques en raison de leur fabrication de céramique avancée - les miroirs sont très légers, mais ont de bonnes propriétés mécaniques et thermiques. En tant que tels, ils sont considérés comme idéaux pour les systèmes optiques à haute précision dans des industries telles que la lithographie avancée, l'observation spatiale, le balayage laser ou l'imagerie à grande vitesse / en temps réel.

Un aspect clé de la fonctionnalité des miroirs à balayage en carbure de silicium consiste à développer une rigidité spécifique optimale qui répond aux exigences du balayage haute performance.  La faible densité et le module élastique élevé fournissent un niveau élevé de rigidité, conservant ainsi les propriétés structurelles tout en se déplaçant à travers des accélérations très élevées et un mouvement dynamique.  Plus la rigidité est élevée, plus la déformation est élevée lorsqu'elle est soumise à des charges très élevées, garantissant une distorsion moins optique lorsque l'imagerie nécessite un positionnement précis à grande vitesse. Dans les scanners à haute fréquence, la rigidité du miroir améliorera directement la résolution et le temps de réglage.

Une autre propriété spécifique est la dureté du sic.  La dureté est définie comme la capacité d'un matériau à résister aux dommages, rayures ou usures de surface.  Une dureté accrue signifie une longue durée de vie opérationnelle - même dans des conditions difficiles avec des particules abrasives et un nettoyage répété. La dureté élevée permet également aux miroirs de maintenir leur précision de surface sur des cycles d'utilisation étendus, de préserver les performances optiques et de réduire les exigences de maintenance.

La gestion thermique est une autre caractéristique où le carbure de silicium brille. En raison de la conductivité thermique élevée, le SIC peut dissiper l'accumulation de chaleur à partir de faisceaux laser haute puissance ou des changements environnementaux thermiques. Cela aidera à minimiser les gradients thermiques qui pourraient créer une déformation du miroir ou un désalignement, permettant des performances cohérentes pendant une longue utilisation opérationnelle. Le SIC à haute stabilité thermique du sommet minimise l'expansion / la contraction avec les changements de température, le maintien de l'alignement optique lorsque la stabilité dimensionnelle dans toutes les conditions environnementales est essentielle, ce qui comprend souvent le travail nécessaire pour les télescopes spatiaux ou les systèmes de lithographie semi-conducteurs.

Pour faciliter les performances et les possibilités autour de son application, de nombreuses options de revêtement de surface sont disponibles. Par exemple, l'utilisation d'un revêtement SIC CVD peut améliorer l'uniformité de surface, la dureté et la météochabilité. Alors que les revêtements en silicium permettent une meilleure interface réfléchissante pour que des revêtements optiques supplémentaires soient déposés, tels que la surface du miroir lui-même, et offrent des opportunités d'optimisation en fonction des gammes de longueurs d'onde spécifiques, des niveaux de puissance laser et des conditions atmosphériques. Vous pouvez vous assurer que le miroir (par exemple) atteint l'exigence optique et de durabilité spécifique de son application prévue avec ces revêtements de surface supplémentaires.

Un autre avantage significatif des miroirs à balayage en carbure de silicium est la personnalisation, y compris la forme et la géométrie. Les miroirs peuvent être personnalisés pour être des surfaces plates, sphériques et asphériques et une grande précision est généralement attendue en fonction de la conception optique. En incorporant des structures arrière à la lumière, la masse des miroirs peut être encore réduite sans aucune perte de rigidité, permettant un balayage plus rapide et un temps de réaction du système plus rapide. Toutes ces caractéristiques offrent des opportunités de mise en forme, de finition et de revêtements individualisés pour chaque miroir en fonction des besoins optiques et mécaniques de l'application.

Les miroirs à balayage en carbure de silicium sont particulièrement avantageux dans les systèmes optiques spatiaux, où les économies de masse, la rigidité et la stabilité thermique aident à garantir la survie ainsi que les performances en orbite. En lithographie, la stabilité dimensionnelle et les caractéristiques élevées de rigidité des miroirs à balayage SIC fournissent des positions au niveau nanométrique qui sont essentielles pour la fabrication de semi-conducteurs. Dans les systèmes de balayage laser puissant, les qualités de dispersion de la chaleur du SIC et la durabilité d'une surface assurent la stabilité à long terme au fil du temps et une distorsion minimale.

Les miroirs à balayage en carbure de silicium semicoréx fournissent une combinaison imbattable de construction légère, de rigidité élevée, de dureté élevée, de conductivité thermique élevée et de stabilité thermique. Les options uniques de formes personnalisables, de finition de surface de précision et de revêtements innovants, y compris les portes ouvertes CVD SIC et le silicium et ajoutent des caractéristiques de performance et de la fiabilité pour les applications de balayage optique les plus exigeantes d'aujourd'hui.