Bateaux à cassettes en silicium

Les bateaux à cassettes de silicium fabriqués à partir de silicium polycristallin ou de silicium monocristallin de haute pureté inégalée présentent les avantages suivants :

1. Contamination par impuretés ultra faible : 

Leurs matériaux partagent la même composition chimique que les plaquettes transportées, minimisant ainsi les ions d'impuretés indésirables lors des processus à haute température.

2. Superbe stabilité thermique : 

Ils sont capables de ne pas se déformer et de maintenir un espacement précis pour une exposition prolongée à haute température (environ 1 250 °C), fournissant ainsi une plate-forme de support stable pour les plaquettes.

3. Excellentes propriétés mécaniques : 

Ils sont plus résistants aux chocs et sont moins sujets à la casse lors du chargement et du déchargement que les bateaux en quartz.

4. Longue durée de vie : 

Sans revêtement de surface, leurs matériaux de surface ne se décolleront pas même lorsqu'ils sont exposés pendant une longue période à des environnements difficiles à haute température.

Silicium semicorexbateaux à cassettessont de petits supports de plaquettes et supports de transfert compatibles avec les fours horizontaux à haute température de 4 pouces et 6 pouces. La conception structurelle formée intégrée évite les écarts d'épissage et les faiblesses structurelles au niveau des joints, réduisant ainsi considérablement les risques de fissuration causée par un impact mécanique, une corrosion chimique ou une contrainte thermique. Les bateaux à cassettes en silicium sont bien compatibles avec les procédures de traitement à haute température telles que l'oxydation, la diffusion, le recuit et le nettoyage à haute température, en grande partie grâce à la technologie de traitement de pointe de Semicorex.

Les bateaux à cassettes en silicium Semicorex prennent en charge des ajustements personnalisés haut de gamme pour nos précieux clients, y compris des aspects tels que la forme de la barre à rainure, la longueur des dents de la rainure, le profil, l'angle d'inclinaison et la capacité totale de chargement des plaquettes. Cette conception sur mesure garantit que les tranches sont disposées avec précision à intervalles fixes dans les cassettes de silicium, atténuant ainsi efficacement les écarts de position et le chauffage irrégulier pendant le traitement et évitant ainsi tout dommage aux performances électriques de la puce, voire sa défaillance complète. Pour garantir que les clients reçoivent des produits de haute qualité, les bateaux à cassettes en silicium de Semicorex doivent passer des contrôles de qualité rigoureux, notamment la précision dimensionnelle, les propriétés des matériaux, la planéité de la surface, la propreté globale et les contraintes résiduelles.