La pomme de douche en silicium monocristallin, connue sous le nom de tête de pulvérisation de gaz ou plaque de distribution de gaz, est un dispositif de distribution de gaz largement utilisé dans les processus de fabrication de semi-conducteurs pour les étapes clés du processus telles que le nettoyage, la gravure et le dépôt. Une pomme de douche en silicium monocristallin de haute qualité et rentable est essentielle pour améliorer la précision et la qualité de la fabrication des puces dans l’industrie des semi-conducteurs.
Semicorex utilise des techniques avancées de traitement de surface pour garantir que la surface de la pomme de douche en silicium monocristallin présente à la fois une planéité et une douceur extrêmement élevées. Parallèlement, en s'appuyant sur la conception standardisée de la structure des canaux et du trajet du gaz, la surface de la pomme de douche en silicium monocristallin est uniformément répartie avec de nombreux pores du même diamètre (le diamètre minimum peut atteindre 0,2 millimètres). La tolérance du diamètre des pores de la pomme de douche en silicium monocristallin est contrôlée avec précision au niveau micrométrique, et la paroi interne des pores doit être lisse et exempte de bavures, garantissant la précision et l'uniformité de la distribution du gaz de traitement du point de vue structurel et du processus.pomme de doucheprésente une résistance exceptionnelle à la corrosion, un faible coefficient de dilatation et une excellente conductivité thermique. S'adaptant solidement aux conditions difficiles de température élevée, de corrosivité élevée et de vide poussé dans la fabrication de semi-conducteurs, il présente une tolérance exceptionnelle aux gaz de traitement tels que les gaz de gravure et de dépôt. Par conséquent, la pomme de douche en silicium monocristallin est largement utilisée dans les processus de nettoyage des semi-conducteurs, les processus d'oxydation, les processus de dépôt et les processus de gravure.
Semicorex utilise des techniques avancées de traitement de surface pour garantir que la surface de la pomme de douche en silicium monocristallin présente à la fois une planéité et une douceur extrêmement élevées. Parallèlement, en s'appuyant sur la conception standardisée de la structure des canaux et du trajet du gaz, la surface de la pomme de douche en silicium monocristallin est uniformément répartie avec de nombreux pores du même diamètre (le diamètre minimum peut atteindre 0,2 millimètres). La tolérance du diamètre des pores de la pomme de douche en silicium monocristallin est contrôlée avec précision au niveau micrométrique, et la paroi interne des pores doit être lisse et exempte de bavures, garantissant la précision et l'uniformité de la distribution du gaz de traitement du point de vue structurel et du processus.
Semicorex fournit des services de personnalisation experts pour répondre aux différents besoins des clients. Selon les différents besoins de ses clients, elle peut personnaliser des solutions d'apparence pour s'adapter aux dimensions et à la forme de leurs chambres de réaction. La conception optimisée permet aux tranches d'établir un contact complet et constant avec le gaz de traitement tout au long du processus de réaction en garantissant que le gaz est dispersé uniformément dans toute la chambre de réaction. Cela améliore finalement l’efficacité de la production et la qualité des produits.