Pièces détachées en croissance épitaxiale

Les pièces de rechange Semicorex pour la croissance épitaxiale sont absolument essentielles, en particulier pour les processus impliquant des installations de tubes de quartz. Ces pièces sont essentielles pour faciliter le flux de gaz afin d'entraîner la rotation de la base du plateau et d'assurer un contrôle précis de la température tout au long du processus de croissance épitaxiale. Les pièces de rechange Semicorex pour croissance épitaxiale, communément appelées demi-pièces, sont méticuleusement conçues pour résister aux températures élevées et aux environnements corrosifs inhérents aux chambres de croissance épitaxiale. Construits en carbure de silicium (SiC), ils offrent une stabilité thermique et chimique exceptionnelle, ce qui en fait le choix idéal pour des applications aussi exigeantes. L'utilisation du SiC garantit que ces pièces sont capables de résister aux conditions les plus difficiles.

Les pièces de rechange en croissance épitaxiale ressemblent à la forme d’un croissant de lune, conçues pour s’adapter parfaitement à l’ensemble du tube de quartz. Leur configuration unique en demi-lune leur permet d'être facilement insérés et retirés du système, facilitant ainsi les procédures de maintenance et de remplacement avec efficacité et précision.

Les pièces de rechange en croissance épitaxiale servent à plusieurs fins. Premièrement, ils facilitent l’apport contrôlé des gaz essentiels au processus de croissance épitaxiale. En régulant les débits et la distribution du gaz, ils assurent un dépôt uniforme des matériaux semi-conducteurs sur la surface du substrat, ce qui est crucial pour obtenir les propriétés matérielles et les performances souhaitées du dispositif.

Les pièces de rechange en croissance épitaxiale contribuent au mouvement de rotation de la base du plateau au sein de la chambre de croissance. Cette rotation est essentielle pour favoriser une répartition uniforme des matériaux déposés, empêchant ainsi la formation d'irrégularités ou de défauts dans les couches épitaxiales.