Suscepteurs pour réacteurs MOCVD

Les suscepteurs de Semicorex pour réacteurs MOCVD sont des produits de haute qualité utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs pour diverses applications telles que les couches de carbure de silicium et les semi-conducteurs d'épitaxie. Notre produit est disponible en forme d'engrenage ou d'anneau et est conçu pour obtenir une résistance à l'oxydation à haute température, ce qui le rend stable à des températures allant jusqu'à 1600°C.

envoyer une demande

Description du produit

Nos suscepteurs pour réacteurs MOCVD sont fabriqués par dépôt chimique en phase vapeur CVD dans des conditions de chloration à haute température, garantissant une grande pureté. La surface du produit est dense, avec des particules fines et une dureté élevée, ce qui le rend résistant à la corrosion par les acides, les alcalis, le sel et les réactifs organiques.
Nos suscepteurs pour réacteurs MOCVD sont conçus pour assurer un revêtement sur toutes les surfaces, en évitant le pelage et en obtenant le meilleur schéma d'écoulement de gaz laminaire. Le produit garantit l'uniformité du profil thermique et empêche toute contamination ou diffusion d'impuretés pendant le processus, garantissant des résultats de haute qualité.
Chez Semicorex, nous donnons la priorité à la satisfaction du client et fournissons des solutions rentables. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme, offrant des produits de haute qualité et un service client exceptionnel.

Paramètres des suscepteurs pour les réacteurs MOCVD

Principales caractéristiques du revêtement CVD-SIC
Propriétés SiC-CVD
Structure en cristal	Phase β FCC
Densité	g/cm³	3.21
Dureté	Dureté Vickers	2500
Taille d'un grain	μm	2~10
Pureté chimique	%	99.99995
Capacité thermique	J·kg-1 ·K-1	640
Température de sublimation	℃	2700
Force Felexurale	MPa (RT 4 points)	415
Module de Young	Gpa (pli 4pt, 1300â)	430
Dilatation Thermique (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivité thermique	(W/mK)	300

Caractéristiques du suscepteur en graphite revêtu de SiC pour MOCVD

- Éviter le décollement et assurer le revêtement sur toutes les surfaces
Résistance à l'oxydation à haute température : Stable à haute température jusqu'à 1600°C
Haute pureté : fabriqué par dépôt chimique en phase vapeur CVD dans des conditions de chloration à haute température.
Résistance à la corrosion : dureté élevée, surface dense et particules fines.
Résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.
- Obtenez le meilleur schéma d'écoulement de gaz laminaire
- Garantir l'uniformité du profil thermique
- Empêcher toute contamination ou diffusion d'impuretés