Suscepteur en graphite revêtu de SiC pour MOCVD

Semicorex est un fabricant et fournisseur à grande échelle de suscepteur en graphite revêtu de carbure de silicium en Chine. Nous nous concentrons sur les industries des semi-conducteurs telles que les couches de carbure de silicium et les semi-conducteurs d'épitaxie. Notre suscepteur en graphite revêtu de SiC pour MOCVD présente un bon avantage de prix et couvre de nombreux marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme.

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Description du produit

Le suscepteur en graphite revêtu de SiC Semicorex pour MOCVD est un support en graphite revêtu de carbure de silicium de haute pureté, utilisé dans le processus pour développer la couche épixiale sur la puce de plaquette. C'est la plaque centrale dans MOCVD, la forme d'un engrenage ou d'un anneau. Le suscepteur en graphite revêtu de SiC pour MOCVD a une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion, qui a une grande stabilité dans un environnement extrême.
Chez Semicorex, nous nous engageons à fournir des produits et services de haute qualité à nos clients. Nous n'utilisons que les meilleurs matériaux et nos produits sont conçus pour répondre aux normes de qualité et de performance les plus élevées. Notre suscepteur en graphite revêtu de SiC pour MOCVD ne fait pas exception. Contactez-nous dès aujourd'hui pour en savoir plus sur la façon dont nous pouvons vous aider avec vos besoins de traitement de tranches de semi-conducteurs.

Paramètres du suscepteur en graphite revêtu de SiC pour MOCVD

Principales caractéristiques du revêtement CVD-SIC
Propriétés SiC-CVD
Structure en cristal	Phase β FCC
Densité	g/cm³	3.21
Dureté	Dureté Vickers	2500
Taille d'un grain	μm	2~10
Pureté chimique	%	99.99995
Capacité thermique	J·kg-1 ·K-1	640
Température de sublimation	℃	2700
Force Felexurale	MPa (RT 4 points)	415
Module de Young	Gpa (pli 4pt, 1300â)	430
Dilatation Thermique (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivité thermique	(W/mK)	300

Caractéristiques du suscepteur en graphite revêtu de SiC pour MOCVD

- Éviter le décollement et assurer le revêtement sur toutes les surfaces
Résistance à l'oxydation à haute température : Stable à haute température jusqu'à 1600°C
Haute pureté : fabriqué par dépôt chimique en phase vapeur CVD dans des conditions de chloration à haute température.
Résistance à la corrosion : dureté élevée, surface dense et particules fines.
Résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.
- Obtenez le meilleur schéma d'écoulement de gaz laminaire
- Garantir l'uniformité du profil thermique
- Empêcher toute contamination ou diffusion d'impuretés