Réchauffeur de processus de plaquette

Semicorex est un fabricant et fournisseur à grande échelle de suscepteurs en graphite recouvert de carbure de silicium en Chine. Nous nous concentrons sur les industries des semi-conducteurs telles que les couches de carbure de silicium et les semi-conducteurs épitaxiés. Notre réchauffeur de processus de plaquettes présente un bon avantage en termes de prix et couvre de nombreux marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme.

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Description du produit

Le réchauffeur de processus de plaquette Semicorex est fabriqué à partir de graphite avec revêtement en carbure de silicium (SiC). Le revêtement est appliqué par une méthode CVD sur des qualités spécifiques de graphite haute densité, de sorte qu'il peut fonctionner dans un four à haute température à plus de 3 000 °C dans une atmosphère inerte. 2200°C sous vide.
Les propriétés spéciales et la faible masse du matériau Wafer Process Heater permettent des vitesses de chauffage rapides, une répartition uniforme de la température et une précision de contrôle exceptionnelle. Comparée à d'autres matériaux, la surface du carbure de silicium reste plate en raison de sa faible dilatation thermique, même lorsqu'elle fonctionne avec des changements rapides de température. Les plaques chauffantes conviennent parfaitement aux processus exigeants des systèmes de traitement des semi-conducteurs.
Chez Semicorex, nous nous concentrons sur la fourniture de produits rentables et de haute qualité à nos clients. Notre Wafer Process Heater présente un avantage de prix et est exporté vers de nombreux marchés européens et américains. Nous visons à être votre partenaire à long terme, en fournissant des produits de qualité constante et un service client exceptionnel.

Paramètres du réchauffeur de processus de plaquettes

Spécification technique	VET-M3
Densité apparente (g/cm3)	≥1,85
Teneur en cendres (PPM)	≤500
Dureté Shore	≥45
Résistance spécifique (μ.Ω.m)	≤12
Résistance à la flexion (Mpa)	≥40
Résistance à la compression (Mpa)	≥70
Max. Taille des grains (μm)	≤43
Coefficient de dilatation thermique Mm/°C	≤4,4*10-6

Caractéristiques du réchauffeur de processus de plaquettes

-Revêtements CVD SiC pour améliorer la durée de vie.
-La résistance aux températures élevées, la résistance à la corrosion, la longue durée de vie, peuvent améliorer la qualité et le rendement des plaquettes.
- Il a un coefficient de dilatation thermique extrêmement faible, une résistance aux températures élevées, une résistance élevée à l'usure, une bonne isolation, une bonne stabilité chimique et une pénétration de la lumière visible presque violette (rouge).

Nous pouvons fournir un creuset en graphite anti-oxydation et une longue durée de vie, un moule en graphite et toutes les pièces du réchauffeur en graphite.