Effecteur final en céramique

Ceramic End Effector est la main du robot qui déplace les tranches de semi-conducteurs entre les positions dans l'équipement de traitement des tranches et les supports. L'effecteur final doit être dimensionnellement précis et thermiquement stable, tout en ayant une surface lisse et résistante à l'abrasion pour manipuler les tranches en toute sécurité sans endommager les dispositifs ni produire de contamination particulaire. Notre effecteur terminal en céramique de carbure de silicium de haute pureté offre une résistance thermique supérieure, une uniformité thermique uniforme pour une épaisseur et une résistance constantes de la couche épi, ainsi qu'une résistance chimique durable.

Chez Semicorex, nous nous concentrons sur la fourniture d'effecteurs terminaux en céramique de haute qualité et rentables, nous accordons la priorité à la satisfaction du client et fournissons des solutions rentables. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme, en fournissant des produits de haute qualité et un service client exceptionnel.

Paramètres de l'effecteur final en céramique

Caractéristiques de l'effecteur final en céramique de haute pureté

● Graphite revêtu de SiC de haute pureté

● Résistance thermique et uniformité thermique supérieures

● Cristal SiC fin recouvert pour une surface lisse

● Haute durabilité contre le nettoyage chimique

● Le matériau est conçu de manière à éviter les fissures et le délaminage.