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Effecteur d'extrémité en céramique

Effecteur d'extrémité en céramique

Semicorex est votre partenaire pour les composants et assemblages avancés en graphite afin de prendre en charge un débit plus élevé et de meilleurs rendements dans votre équipement de traitement des semi-conducteurs. Nos experts en matériaux sont prêts à travailler avec vous pour développer la solution optimale adaptée à vos besoins en matière de manipulation, de chauffage et de traitement des plaquettes. Notre effecteur terminal en céramique a un bon avantage de prix et couvre de nombreux marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Description du produit

L'effecteur d'extrémité en céramique est la main du robot qui déplace les tranches de semi-conducteur entre les positions dans l'équipement de traitement des tranches et les supports. L'effecteur terminal doit être dimensionnellement précis et thermiquement stable, tout en ayant une surface lisse et résistante à l'abrasion pour manipuler en toute sécurité les tranches sans endommager les dispositifs ni produire de contamination particulaire. Notre effecteur d'extrémité en céramique en carbure de silicium de haute pureté offre une résistance à la chaleur supérieure, une uniformité thermique uniforme pour une épaisseur et une résistance constantes de la couche épi et une résistance chimique durable.

Chez Semicorex, nous nous concentrons sur la fourniture d'effecteur céramique de haute qualité et rentable, nous donnons la priorité à la satisfaction du client et fournissons des solutions rentables. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme, offrant des produits de haute qualité et un service client exceptionnel.


Paramètres de l'effecteur d'extrémité en céramique

Principales caractéristiques du revêtement CVD-SIC

Propriétés SiC-CVD

Structure en cristal

Phase β FCC

Densité

g/cm³

3.21

Dureté

Dureté Vickers

2500

Taille d'un grain

μm

2~10

Pureté chimique

%

99.99995

Capacité thermique

J·kg-1 ·K-1

640

Température de sublimation

2700

Force Felexurale

MPa (RT 4 points)

415

Module de Young

Gpa (pli 4pt, 1300â)

430

Dilatation Thermique (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Conductivité thermique

(W/mK)

300


Caractéristiques de l'effecteur d'extrémité en céramique de haute pureté

â Graphite recouvert de SiC de grande pureté

â Résistance à la chaleur supérieure et uniformité thermique

â Cristal SiC fin enduit pour une surface lisse

â Haute durabilité contre le nettoyage chimique

â Le matériau est conçu pour éviter les fissures et le délaminage.




Balises actives: Effecteur d'extrémité en céramique, Chine, Fabricants, Fournisseurs, Usine, Personnalisé, En vrac, Avancé, Durable

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