Chauffe-plaquettes à revêtement SiC

Semicorex est l'un des principaux fabricants indépendants de graphite revêtu de carbure de silicium et de graphite de haute pureté usiné avec précision, se concentrant sur les domaines du graphite revêtu de carbure de silicium, de la céramique de carbure de silicium et du MOCVP de la fabrication de semi-conducteurs. Notre chauffe-plaquettes à revêtement SiC présente un bon avantage en termes de prix et couvre de nombreux marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Description du produit

Le chauffe-plaquettes à revêtement SiC Semicorex peut fonctionner dans un four à haute température à plus de 3 000 °C dans une atmosphère inerte et à 2 200 °C sous vide. Le chauffe-plaquettes à revêtement SiC de haute pureté offre une résistance thermique supérieure, une uniformité thermique uniforme pour une épaisseur et une résistance constantes de la couche épi, ainsi qu'une résistance chimique durable. Le revêtement cristallin fin de SiC fournit une surface propre et lisse, essentielle pour la manipulation puisque les tranches immaculées entrent en contact avec le suscepteur en de nombreux points sur toute leur surface.
Chez Semicorex, nous nous concentrons sur la fourniture de chauffe-plaquettes à revêtement SiC de haute qualité et rentables, nous accordons la priorité à la satisfaction du client et fournissons des solutions rentables. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme, en fournissant des produits de haute qualité et un service client exceptionnel.

Paramètres du chauffe-plaquettes à revêtement SiC

Spécification technique	VET-M3
Densité apparente (g/cm3)	≥1,85
Teneur en cendres (PPM)	≤500
Dureté Shore	≥45
Résistance spécifique (μ.Ω.m)	≤12
Résistance à la flexion (Mpa)	≥40
Résistance à la compression (Mpa)	≥70
Max. Taille des grains (μm)	≤43
Coefficient de dilatation thermique Mm/°C	≤4,4*10-6

Caractéristiques du chauffe-plaquettes à revêtement SiC

- Graphite revêtu de SiC de haute pureté
- Résistance thermique supérieure et uniformité thermique
- Cristal SiC fin recouvert pour une surface lisse
- Haute durabilité contre le nettoyage chimique
- Le matériau est conçu de manière à éviter les fissures et le délaminage.