Réchauffeur de plaquette revêtu de SiC

Le réchauffeur de plaquettes à revêtement SiC Semicorex peut fonctionner dans le four à haute température avec plus de 3000 ° C dans une atmosphère inerte, 2200 ° C sous vide. Le réchauffeur de plaquettes à revêtement SiC de haute pureté offre une résistance à la chaleur supérieure, une uniformité thermique uniforme pour une épaisseur et une résistance constantes de la couche épi et une résistance chimique durable. Le revêtement en cristal SiC fin offre une surface propre et lisse, essentielle pour la manipulation puisque les plaquettes vierges entrent en contact avec le suscepteur en de nombreux points sur toute leur surface.
Chez Semicorex, nous nous concentrons sur la fourniture de réchauffeurs de plaquettes revêtus de SiC de haute qualité et rentables, nous donnons la priorité à la satisfaction du client et fournissons des solutions rentables. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme, offrant des produits de haute qualité et un service client exceptionnel.

Paramètres du réchauffeur de plaquettes revêtu de SiC

Caractéristiques du réchauffeur de plaquettes revêtu de SiC

- Graphite recouvert de SiC de haute pureté
- Résistance à la chaleur supérieure et uniformité thermique
- Cristal SiC fin enduit pour une surface lisse
- Haute durabilité contre le nettoyage chimique
- Le matériau est conçu pour éviter les fissures et le délaminage.