Semicorex propose différents types de plaquettes SiC 4H et 6H. Nous sommes fabricant et fournisseur de wafers depuis de nombreuses années. Notre plaquette SiC de type N de 6 pouces à double polissage présente un bon avantage en termes de prix et couvre la plupart des marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
Semicorex propose une gamme complète de produits de plaquettes de carbure de silicium (SiC), comprenant des substrats 4H et 6H avec des plaquettes semi-isolantes de type N, de type P et de haute pureté, elles peuvent être avec ou sans épitaxie. Notre substrat SiC (carbure de silicium) de type N de 4 pouces est un type de plaquette de haute qualité fabriquée à partir d'un monocristal de carbure de silicium avec un dopage de type N, qui est doublement poli.
La plaquette SiC de type N de 6 pouces est principalement utilisée dans les véhicules à énergie nouvelle, la transmission et la sous-station haute tension, les produits blancs, les trains à grande vitesse, les moteurs électriques, les onduleurs photovoltaïques, les alimentations pulsées et d'autres domaines, qui ont les avantages de réduire l'équipement la perte d'énergie, l'amélioration de la fiabilité des équipements, la réduction de la taille des équipements et l'amélioration des performances des équipements, et présentent des avantages irremplaçables dans la fabrication d'appareils électroniques de puissance.
Articles |
Production |
Recherche |
Factice |
Paramètres de cristal |
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Polytype |
4H |
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Erreur d'orientation de surface |
<11-20 >4±0.15° |
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Paramètres électriques |
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Dopant |
Azote de type n |
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Résistivité |
0,015-0,025ohm·cm |
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Paramètres mécaniques |
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Diamètre |
150.0±0.2mm |
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Épaisseur |
350±25 μm |
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Orientation plate primaire |
[1-100]±5° |
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Longueur plate primaire |
47,5 ± 1,5 mm |
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Appartement secondaire |
Aucun |
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TTV |
â¤5 μm |
â¤10 μm |
â¤15 μm |
LTV |
â¤3 μm(5mm*5mm) |
â¤5 μm(5mm*5mm) |
â¤10 μm(5mm*5mm) |
Arc |
-15μm ~ 15μm |
-35μm ~ 35μm |
-45μm ~ 45μm |
Chaîne |
â¤35 μm |
â¤45 μm |
â¤55 μm |
Rugosité avant (Si-face) (AFM) |
Raâ¤0.2nm (5μm*5μm) |
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Structure |
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Densité de microtuyaux |
<1 ch/cm2 |
<10 ch/cm2 |
<15 unités/cm2 |
Impuretés métalliques |
â¤5E10atomes/cm2 |
N / A |
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TPL |
â¤1500 ea/cm2 |
â¤3000 ea/cm2 |
N / A |
DNT |
â¤500 ea/cm2 |
â¤1000 ea/cm2 |
N / A |
Qualité avant |
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Devant |
Si |
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Finition de surface |
Si-face CMP |
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Particules |
â¤60ea/wafer (tailleâ¥0.3μm) |
N / A |
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Rayures |
â¤5ea/mm. Longueur cumulée â¤Diamètre |
Longueur cumuléeâ¤2*Diamètre |
N / A |
Peau d'orange/piqûres/taches/stries/fissures/contamination |
Aucun |
N / A |
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Puces de bord/retraits/fracture/plaques hexagonales |
Aucun |
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Zones polytypiques |
Aucun |
Superficie cumuléeâ¤20% |
Superficie cumuléeâ¤30% |
Marquage laser avant |
Aucun |
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Retour Qualité |
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Finition arrière |
CMP face C |
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Rayures |
â¤5ea/mm, longueur cumuléeâ¤2*Diamètre |
N / A |
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Défauts au dos (éclats de bord/indentations) |
Aucun |
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Rugosité du dos |
Raâ¤0.2nm (5μm*5μm) |
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Marquage laser arrière |
1 mm (du bord supérieur) |
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Bord |
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Bord |
Chanfreiner |
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Emballage |
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Emballage |
Epi-ready avec emballage sous vide Emballage de cassette multi-wafers |
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*Remarquesï¼ "NA" signifie aucune demande Les éléments non mentionnés peuvent faire référence à SEMI-STD. |