Bateau SiC 6 pouces

Semicorex 6 Inch SiC Boat est un support de tranche avancé conçu pour optimiser les performances et l'efficacité du traitement des semi-conducteurs à haute température, en particulier pour les applications telles que l'oxydation, la diffusion et d'autres processus thermiques. Fabriqué à partir de carbure de silicium (SiC) de haute qualité, ce produit offre une solution robuste pour maintenir les tranches de semi-conducteurs pendant les opérations critiques à haute température, offrant une stabilité thermique supérieure, une excellente résistance à la corrosion et des risques de contamination minimes.

Le bateau SiC de 6 pouces est fabriqué à partir de carbure de silicium (SiC) de haute pureté, un matériau connu pour ses propriétés thermiques exceptionnelles, sa résistance chimique et sa durabilité dans les environnements difficiles. Le SiC est largement utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs en raison de son point de fusion élevé (environ 2 700 °C), ce qui le rend idéal pour les applications à haute température telles que le traitement des plaquettes dans les fours d'oxydation et de diffusion. La conception du bateau garantit une excellente intégrité structurelle et une répartition uniforme de la chaleur, qui sont essentielles pour obtenir des résultats cohérents dans la croissance des cristaux de semi-conducteurs, l'oxydation et d'autres traitements thermiques.

Principales caractéristiques et avantages

Haute stabilité thermique

La conductivité thermique exceptionnelle du SiC garantit que le bateau SiC de 6 pouces peut résister à des températures extrêmes sans se déformer ni se dégrader. Cette propriété est particulièrement précieuse lors des processus d’oxydation et de diffusion, où un contrôle précis de la température est essentiel pour un traitement cohérent des plaquettes.

Excellente résistance chimique

La résistance inhérente du carbure de silicium à la corrosion chimique rend le bateau idéal pour une utilisation dans des environnements où l'exposition à des gaz agressifs, tels que l'oxygène, l'azote ou d'autres éléments réactifs, est courante. Le bateau conserve son intégrité structurelle et ses performances dans des environnements chimiquement réactifs à haute température, réduisant ainsi le risque de contamination.

Durabilité à haute température

Le bateau SiC de 6 pouces est conçu pour fonctionner à des températures allant jusqu'à 1 500 °C, une exigence pour de nombreux processus de semi-conducteurs à haute température, y compris l'oxydation et la diffusion. Cette tolérance aux températures élevées garantit une longue durée de vie, même dans les applications exigeantes.

Faible risque de contamination

L'un des facteurs critiques dans le traitement des semi-conducteurs est de minimiser la contamination de la surface de la tranche. Les faibles niveaux d'impuretés et la nature non réactive du SiC garantissent que le bateau SiC de 6 pouces contribue à un environnement propre et contrôlé, réduisant ainsi le risque de contamination indésirable pendant le traitement.

Prise en charge uniforme des plaquettes

La conception du bateau garantit que les tranches sont supportées uniformément, maintenant un alignement optimal des tranches et empêchant tout affaissement ou désalignement pendant le traitement à haute température. Ce support uniforme est essentiel pour garantir des résultats cohérents et prévenir les défauts des plaquettes.

Options de personnalisation

Le bateau SiC de 6 pouces peut être personnalisé pour répondre aux exigences spécifiques des clients, notamment des tailles, des formes et des configurations adaptées à différents types de plaquettes. Qu’il soit utilisé pour l’oxydation, la diffusion ou d’autres processus thermiques, le bateau peut être optimisé pour le flux de processus particulier du client.

Applications dans la fabrication de semi-conducteurs

Le bateau SiC de 6 pouces est principalement utilisé dans les processus thermiques à haute température dans la fabrication de semi-conducteurs. Il est particulièrement efficace dans les fours d’oxydation et de diffusion, où un contrôle précis de la température et de l’atmosphère est requis pour un traitement réussi des plaquettes.

• Processus d'oxydation : Au cours du processus d’oxydation, les tranches de silicium sont exposées à l’oxygène à des températures élevées pour former une fine couche de dioxyde de silicium à la surface de la tranche. Le bateau SiC de 6 pouces garantit que les plaquettes sont maintenues de manière sûre et uniforme pendant ce processus à haute température, empêchant ainsi la déformation ou le désalignement et assurant une croissance uniforme de la couche d'oxyde.
• Processus de diffusion : Lors du processus de diffusion, des dopants sont introduits dans la plaquette de silicium pour modifier ses propriétés électriques. Le SiC Boat fournit un support stable et fiable aux plaquettes pendant cette étape critique, où les températures élevées et un contrôle précis de l'environnement de diffusion sont primordiaux. Son excellente stabilité thermique garantit un chauffage uniforme, crucial pour obtenir le profil de dopant souhaité.
• Autres applications à haute température : Au-delà de l'oxydation et de la diffusion, le bateau SiC de 6 pouces peut être utilisé dans d'autres processus à haute température, tels que le recuit, la nitruration et la croissance épitaxiale. Sa conductivité thermique élevée et sa résistance aux chocs thermiques en font une solution polyvalente pour différentes étapes de fabrication de dispositifs semi-conducteurs.

Avantages par rapport aux autres matériaux

Comparé aux matériaux traditionnels tels que le quartz ou le graphite, le carbure de silicium offre des avantages significatifs dans la fabrication de semi-conducteurs. Les bateaux en quartz sont plus sensibles aux chocs thermiques et aux réactions chimiques, tandis que les bateaux en graphite peuvent dégazer et introduire une contamination. Les bateaux SiC, quant à eux, conservent leurs performances dans des environnements difficiles sans risques de contamination, d'instabilité thermique ou de dégradation. Cela fait du bateau SiC de 6 pouces un choix plus fiable et plus efficace pour le traitement des semi-conducteurs à haute température.

Le bateau SiC Semicorex 6 pouces est un composant essentiel de l'industrie des semi-conducteurs, offrant la stabilité, la résistance chimique et les performances thermiques nécessaires au traitement avancé des plaquettes. Sa conductivité thermique élevée, sa résistance à la corrosion chimique et son risque de contamination minimal en font le choix idéal pour l'oxydation, la diffusion et d'autres processus de semi-conducteurs à haute température. Qu'il soit utilisé dans la recherche et le développement ou dans la production à grande échelle, le bateau SiC de 6 pouces offre les performances et la fiabilité nécessaires pour garantir des résultats de la plus haute qualité dans la fabrication de semi-conducteurs.