Bateau à plaquettes par lots

Semicorex propose des bateaux à plaquettes, des socles et des supports de plaquettes personnalisés pour les configurations verticales/colonnes et horizontales. Nous sommes fabricant et fournisseur de films de revêtement en carbure de silicium depuis de nombreuses années. Notre Batch Wafer Boat présente un bon avantage de prix et couvre la plupart des marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Description du produit

Les semicorex Batch Wafer Boat sont fabriqués à partir d'un matériau céramique en carbure de silicium de haute qualité pour une résistance chimique et une stabilité thermique supérieures.
Notre Batch Wafer Boat a une finition de surface lisse et offre un excellent support et une excellente protection des plaquettes pendant le traitement. Le revêtement SiC assure l'uniformité et la stabilité pendant le traitement, protégeant les plaquettes de la contamination et des dommages. Avec une excellente conductivité thermique et une résistance mécanique supérieure, nos porte-plaquettes fournissent des résultats cohérents et fiables.
Notre équipe d’experts s’engage à fournir la meilleure qualité et le meilleur service. Nous proposons des conceptions personnalisées pour répondre à vos besoins spécifiques, et nos bateaux de plaquettes par lots sont soutenus par notre programme d'assurance qualité.

Paramètres du bateau de plaquettes par lots

Propriétés techniques
Indice	Unité	Valeur
Nom du matériau		Carbure de silicium fritté par réaction	Carbure de silicium fritté sans pression	Carbure de silicium recristallisé
Composition		RBSIC	SSIC	R-SiC
Densité apparente	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Résistance à la flexion	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Résistance à la compression	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Dureté	Bouton	2700	2800	/
Briser la ténacité	MPa m1/2	4.5	4	/
Conductivité thermique	W/m.k	95	120	23
Coefficient de dilatation thermique	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Chaleur spécifique	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Température maximale de l'air	℃	1200	1500	1600
Module élastique	Gpa	360	410	240

La différence entre SSiC et RBSiC :

1. Le processus de frittage est différent. Le RBSiC consiste à infiltrer le Si libre dans le carbure de silicium à basse température, le SSiC est formé par retrait naturel à 2 100 degrés.

2. Les SSiC ont une surface plus lisse, une densité plus élevée et une résistance plus élevée. Pour certains joints ayant des exigences de surface plus strictes, le SSiC sera meilleur.

3. Temps d'utilisation différent sous différents pH et températures, SSiC est plus long que RBSiC

Caractéristiques du bateau à plaquettes par lots

- Haute résistance (dureté Mohs 9,5, juste derrière le diamant)
- Résistance à la corrosion aux acides, alcalis, sels et solvants organiques
- Haute conductivité thermique, résistance au plasma, longue durée de vie
- Semi-conducteurs