Lot Wafer Boat

Semicorex fournit des bateaux à plaquettes, des socles et des supports de plaquettes personnalisés pour les configurations verticales/colonnes et horizontales. Nous sommes fabricant et fournisseur de film de revêtement en carbure de silicium depuis de nombreuses années. Notre Batch Wafer Boat a un bon avantage de prix et couvre la plupart des marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Description du produit

Semicorex Batch Wafer Boat est fabriqué à partir d'un matériau céramique en carbure de silicium de haute qualité pour une résistance chimique et une stabilité thermique supérieures.
Notre Batch Wafer Boat a une finition de surface lisse et offre un excellent support et protection des plaquettes pendant le traitement. Le revêtement SiC assure l'uniformité et la stabilité pendant le traitement, protégeant les tranches de la contamination et des dommages. Avec une excellente conductivité thermique et une résistance mécanique supérieure, nos porte-wafers fournissent des résultats cohérents et fiables.
Notre équipe d'experts s'engage à fournir la meilleure qualité et le meilleur service. Nous proposons des conceptions personnalisées pour répondre à vos besoins spécifiques, et nos bateaux à wafers par lots sont soutenus par notre programme d'assurance qualité.

Paramètres de Batch Wafer Boat

Propriétés techniques
Indice	Unité	Valeur
Nom du matériau		Carbure de silicium fritté par réaction	Carbure de silicium fritté sans pression	Carbure de silicium recristallisé
Composition		RBSiC	SSiC	R-SiC
Densité apparente	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2.60-2.70
Résistance à la flexion	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Résistance à la compression	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Dureté	Knoop	2700	2800	/
Ténacité de rupture	MPa m1/2	4.5	4	/
Conductivité thermique	W/m.k	95	120	23
Coefficient de dilatation thermique	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Chaleur spécifique	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Température maximale dans l'air	℃	1200	1500	1600
Module d'élasticité	Gpa	360	410	240

La différence entre SSiC et RBSiC :

1. Le processus de frittage est différent. RBSiC consiste à infiltrer du Si libre dans du carbure de silicium à basse température, SSiC est formé par retrait naturel à 2100 degrés.

2. SSiC a une surface plus lisse, une densité plus élevée et une résistance plus élevée, pour certains joints avec des exigences de surface plus strictes, SSiC sera meilleur.

3. Différents temps d'utilisation sous différents PH et températures, SSiC est plus long que RBSiC

Caractéristiques de Batch Wafer Boat

- Haute résistance (dureté Mohs 9,5, juste derrière le diamant)
- Résistance à la corrosion aux acides, alcalis, sels et solvants organiques
- Haute conductivité thermique, résistance au plasma, longue durée de vie
- Semi-conducteurs