Bateau à gaufrettes en céramique

Semicorex fournit des bateaux à plaquettes, des socles et des supports de plaquettes personnalisés pour les configurations verticales/colonnes et horizontales. Nous sommes fabricant et fournisseur de film de revêtement en carbure de silicium depuis de nombreuses années. Notre bateau à gaufrettes en céramique a un bon avantage de prix et couvre la plupart des marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Description du produit

Présentation de notre bateau à gaufrettes en céramique en carbure de silicium de haute qualité, conçu pour fournir une solution fiable pour le traitement des wafers dans diverses industries. Ces socles en céramique sont fabriqués à partir de céramiques de haute pureté, qui offrent une excellente résistance aux chocs thermiques, à l'abrasion et à la corrosion chimique, ce qui les rend idéaux pour les environnements de traitement de plaquettes difficiles.
Nos bateaux à gaufrettes en céramique sont également hautement personnalisés et nous pouvons travailler avec vous pour créer des piédestaux personnalisés répondant à vos spécifications uniques. Nous sommes fiers de notre capacité à fournir des produits fiables et de haute qualité qui répondent aux exigences de nos clients. Nos bateaux à gaufrettes en céramique sont conçus pour durer et offrent une longue durée de vie, vous assurant ainsi de tirer le meilleur parti de votre investissement.
Commandez maintenant et découvrez les avantages de notre bateau à gaufrettes en céramique de haute qualité dans vos opérations de traitement de wafers.

Paramètres du bateau à gaufrettes en céramique

Propriétés techniques
Indice	Unité	Valeur
Nom du matériau		Carbure de silicium fritté par réaction	Carbure de silicium fritté sans pression	Carbure de silicium recristallisé
Composition		RBSiC	SSiC	R-SiC
Densité apparente	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2.60-2.70
Résistance à la flexion	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Résistance à la compression	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Dureté	Knoop	2700	2800	/
Ténacité de rupture	MPa m1/2	4.5	4	/
Conductivité thermique	W/m.k	95	120	23
Coefficient de dilatation thermique	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Chaleur spécifique	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Température maximale dans l'air	℃	1200	1500	1600
Module d'élasticité	Gpa	360	410	240

La différence entre SSiC et RBSiC :

1. Le processus de frittage est différent. RBSiC consiste à infiltrer du Si libre dans du carbure de silicium à basse température, SSiC est formé par retrait naturel à 2100 degrés.

2. SSiC a une surface plus lisse, une densité plus élevée et une résistance plus élevée, pour certains joints avec des exigences de surface plus strictes, SSiC sera meilleur.

3. Différents temps d'utilisation sous différents PH et températures, SSiC est plus long que RBSiC

Caractéristiques du bateau à gaufrettes en céramique

Fabriqué en céramique d'alumine de haute pureté pour une excellente résistance aux chocs thermiques, à l'abrasion et à la corrosion chimique
Conçu pour un support et une stabilité optimaux pendant le traitement des plaquettes, minimisant le risque de dommages ou de contamination
Disponible dans une gamme de tailles pour s'adapter à différents diamètres et épaisseurs de plaquettes
Personnalisable pour répondre à des spécifications uniques
Construit pour durer et offrir une longue durée de vie