Pagaie en porte-à-faux SiC personnalisée

La palette en porte-à-faux Semicorex Custom SiC sert de lien critique entre le système de chargement des plaquettes et le cœur du four de diffusion, responsable du transport des bateaux de plaquettes de quartz ou de SiC chargés de plaquettes de silicium vers la zone de traitement à haute température. Leur conception et leurs propriétés matérielles sont minutieusement optimisées pour cette tâche exigeante :

Structure en porte-à-faux robuste pour un transport stable des plaquettes :La conception en porte-à-faux, caractérisée par un bras rigide s'étendant dans le four, offre une stabilité exceptionnelle et un contrôle précis du mouvement des plaquettes. Cela garantit un transport fluide et sans vibrations, minimisant ainsi le risque de rupture ou de désalignement des plaquettes pendant le chargement et le déchargement.

Capacité de charge élevée pour un traitement par lots efficace :La résistance et la rigidité inhérentes de la céramique SiC permettent à la palette en porte-à-faux SiC personnalisée de supporter de lourdes charges de tranches de silicium, maximisant ainsi le débit de chaque cycle de diffusion et contribuant à des volumes de production plus élevés.

Contrôle dimensionnel précis pour une intégration transparente : La palette en porte-à-faux SiC personnalisée est méticuleusement fabriquée selon des spécifications dimensionnelles précises, garantissant un ajustement parfait dans le système du four de diffusion et facilitant une intégration transparente avec les robots automatisés de manipulation de plaquettes.

La sélection de céramiques SiC, notammentCarbure de silicium lié par réaction (RBSiC)etCarbure de silicium fritté (SSiC), car le matériau de choix pour la palette cantilever Custom SiC découle de ses caractéristiques de performance exceptionnelles dans les environnements à haute température :

Stabilité inébranlable à haute température : La palette en porte-à-faux SiC personnalisée présente une résistance exceptionnelle à la déformation et au fluage, même aux températures élevées (jusqu'à 1 600 °C) rencontrées dans les fours à diffusion. Cela garantit un support constant de la tranche et évite l’affaissement ou la flexion qui pourraient compromettre l’uniformité de la tranche.

Résistance exceptionnelle aux chocs thermiques :La capacité à résister à des transitions rapides de température sans dommage est cruciale pour maintenir l’intégrité de la palette en porte-à-faux Custom SiC sur d’innombrables cycles de diffusion. Les céramiques SiC excellent à cet égard, minimisant le risque de fissuration ou de fracture pouvant entraîner des temps d'arrêt coûteux.

Faible dilatation thermique pour un alignement précis :La dilatation thermique minimale de la céramique SiC garantit que la palette en porte-à-faux SiC personnalisée conserve sa stabilité dimensionnelle sur les larges plages de température rencontrées pendant le fonctionnement. Ceci est essentiel pour maintenir un alignement précis des tranches dans le four, garantissant ainsi un chauffage uniforme et des profils de diffusion cohérents.