Tube de four à diffusion

Le tube du four à diffusion est généralement fabriqué à partir de quartz ou de SiC de haute pureté, qui présentent tous deux une stabilité thermique et une résistance aux réactions chimiques exceptionnelles. Ceci est important car le tube du four à diffusion ne doit pas introduire d'impuretés dans les matériaux semi-conducteurs en cours de traitement. Même les plus petites impuretés peuvent avoir des effets néfastes importants sur les performances et la fiabilité des dispositifs semi-conducteurs fabriqués.

Les matériaux utilisés dans la construction du tube du four à diffusion sont choisis pour leur grande pureté afin d'éviter la contamination des tranches semi-conductrices pendant le traitement. Le tube du four à diffusion résiste aux températures extrêmes rencontrées lors du traitement des semi-conducteurs sans se déformer ni compromettre son intégrité structurelle. Cela garantit des performances constantes et fiables sur des périodes de fonctionnement prolongées. En plus de la stabilité thermique, le tube du four à diffusion présente également une résistance aux effets corrosifs des produits chimiques et des gaz utilisés dans le traitement des semi-conducteurs. Cela évite la dégradation du tube dans le temps et garantit sa longévité.

Certains tubes de four à diffusion peuvent comporter des revêtements fabriqués à partir de matériaux spécialisés pour améliorer encore leurs performances ou fournir une protection supplémentaire contre la contamination ou les réactions chimiques. Ces revêtements sont soigneusement sélectionnés pour compléter les propriétés du matériau du tube et les exigences spécifiques du processus de fabrication des semi-conducteurs.