Bateaux horizontaux en carbure de silicium

Semicorex horizontalbateaux en carbure de siliciumsont intégralement formés à l’aide de la technologie d’impression 3D, puis fabriqués par frittage à haute température. Spécialement conçus pour s'adapter à diverses tailles de fours horizontaux à haute température, ces composants sont largement utilisés pour sécuriser fermement la rétention des plaquettes dans les processus critiques de fabrication de semi-conducteurs à haute température, notamment la diffusion, l'oxydation et le dépôt chimique en phase vapeur.

Propriétés physicochimiques du carbure de silicium

Les avantages du bateau horizontal en carbure de silicium Semicorexs

1. Support et position stables

La résistance et la dureté inégalées du matériau confèrent aux bateaux horizontaux en carbure de silicium Semicorex une excellente capacité de support, ce qui leur permet de transporter de manière stable plusieurs tranches simultanément. Grâce à l'usinage de fentes de précision, les bateaux horizontaux en carbure de silicium Semicorex peuvent fixer fermement et maintenir en toute sécurité les plaquettes semi-conductrices. La structure des fentes uniformément espacées garantit que les tranches conservent une position fixe tout au long du cycle de traitement, garantissant ainsi la cohérence et la précision des processus de fabrication des semi-conducteurs.

2.Compatibilité avec des conditions de fonctionnement complexes

Grâce à leur résistance supérieure aux hautes températures et à la corrosion, les bateaux horizontaux en carbure de silicium Semicorex sont capables de résister à des environnements de fonctionnement rigoureux, tels que des atmosphères à haute température d'oxygène, d'azote ou de chlorure d'hydrogène à faible concentration. Ces propriétés matérielles exceptionnelles peuvent prévenir efficacement la corrosion et les dommages causés par les gaz corrosifs à haute température, ce qui prolonge considérablement la durée de vie opérationnelle des bateaux.

3. Performances de propreté exceptionnelles

Différent des bateaux en graphite recouverts de carbure de silicium conventionnels, les bateaux horizontaux en carbure de silicium Semicorex sont fabriqués à partir de matériaux semi-conducteurs de haute pureté.carbure de silicium(99,999 %) avec une teneur en impuretés ultra faible. Cette sélection de matériaux haut de gamme élimine le risque de dégazage de contaminants ou de pelage du revêtement, même en cas d'exposition à des températures élevées et à des environnements corrosifs difficiles. De plus, chacun de nos bateaux en carbure de silicium est soumis à des processus rigoureux de nettoyage par ultrasons avant emballage sous vide, ce qui garantit le respect des normes de propreté requises par les processus avancés de fabrication de semi-conducteurs.