Chuck sic microporeux

Semicorex Microporel SIC Chuck est une plaquette de mandrin à l'aspirateur à la pointe de la technologie conçue pour la manipulation de précision des plaquettes dans les applications de fabrication de semi-conducteurs. Il agit comme un élément essentiel de la cueillette, de la maintenance et du transport à travers les différentes étapes du traitement des plaquettes qui comprend le nettoyage, la gravure, le dépôt et la lithographie. Cette plaquette Chuck garantit une excellente adhérence et stabilité avec le résultat que la plaquette sera maintenue en toute sécurité pendant les opérations complexes.

Le mandrin SIC microporeux semicoréx a une structure de surface microporeuse; Ceci est préparé à partir de carbure de silicium (sic) de haute qualité et assure une excellente stabilité thermique, une résistance chimique et une durabilité à long terme. Il permet une force d'aspiration uniforme sur toute la surface de la plaquette, minimisant les dommages à la plaquette tout en assurant une manipulation fiable tout au long du cycle de traitement. Les matériaux de base offerts comprennent SUS430 en acier inoxydable, en alliage d'aluminium 6061, en céramique en alumine dense, en granit et en céramique en carbure de silicium.

Caractéristiques et avantages

Structure de surface microporeuse: Le Chuck SIC est conçu avec une surface microporeuse, améliorant l'efficacité de l'absorption du vide. Cela garantit que même des plaquettes délicates sont en toute sécurité en place sans causer de distorsion ni de dommages.

Polvolence du matériau: le matériau de base de Chuck est personnalisable pour répondre aux besoins de processus spécifiques:

• SUS430 en acier inoxydable: offre une bonne résistance à la corrosion à un prix abordable, idéal pour les applications standard.
• Alliage d'aluminium 6061: léger avec une conductivité thermique élevée, offrant une excellente dissipation de chaleur pour les applications nécessitant une stabilité à haute température.
• Céramique d'alumine dense (99% AL2O3): fournit une isolation électrique exceptionnelle et une résistance à haute température, adaptée aux applications de haute précision dans la production de semi-conducteurs.
• Granite: Connu pour ses propriétés mécaniques exceptionnelles, le granit offre un excellent amortissement des vibrations, ce qui le rend idéal pour la manipulation de la plaquette de haute précision où la stabilité mécanique est essentielle.
• Céramique en carbure de silicium: le choix ultime pour une conductivité thermique élevée et une résistance aux chocs thermiques, offrant des performances durables dans des environnements semi-conducteurs exigeants.

Planification supérieure de la planéité: le mandrin dispose d'une planéité exceptionnelle, essentielle pour la précision de manipulation des plaquettes. La précision de la planéité des différents matériaux de base varie comme suit:

Alliage d'aluminium 6061: Mieux adapté aux applications nécessitant une planéité modérée et légère.

SUS430 en acier inoxydable: offre une bonne planéité, généralement suffisante pour la plupart des processus semi-conducteurs.

Alumine dense (99% AL2O3): fournit la planéité la plus élevée, assurant la tenue de précision de précision pendant les processus sensibles.

Granite et céramique SIC: les deux matériaux offrent une forte planéité et une excellente stabilité mécanique, offrant une précision supérieure pour la manipulation exigeante des plaquettes.

Poids personnalisable: le poids du Chuck dépend du matériau de base sélectionné:

ALLIAGE D'ALUMINUM 6061: Le matériau le plus léger, idéal pour les processus qui nécessitent un repositionnement ou une manipulation fréquents.

Granite: offre un poids modéré, offrant une stabilité solide sans masse excessive.

Céramique en carbure de silicium et en alumine: les matériaux les plus lourds, offrant une résistance et une rigidité supérieures aux applications exigeantes.

Haute précision et stabilité: le Chuck SIC garantit que les plaquettes sont manipulées avec une plus grande précision, offrant un déplacement ou une déformation minimale de la plaquette pendant le transport par étapes de traitement.

Applications dans la fabrication de semi-conducteursg

Le mandrin SIC microporeux est principalement utilisé dans les applications de manutention des plaquettes dans les processus de fabrication de semi-conducteurs, notamment:

• Nettoyage des plaquettes: Contient efficacement les tranches pendant les processus de nettoyage pour assurer un nettoyage complet et uniforme sans endommager.
• Gravure et lithographie: fournit une tenue de plaquette stable pendant les étapes de gravure ou de lithographie, assurant la précision et la précision de la structuration.
• Dépôt: sécurise les TAL pendant le dépôt physique de vapeur (PVD) ou le dépôt chimique de vapeur (CVD), crucial pour les revêtements à couches minces dans la fabrication de semi-conducteurs.
• Inspection: permet une tenue de plaque sécurisée pendant les étapes d'inspection, garantissant que la plaquette reste parfaitement alignée et stable pour l'imagerie ou les mesures à haute résolution.
• Emballage: Aide dans le processus d'emballage de la plaquette, offrant une manipulation sécurisée pour les plaquettes avant la séparation des puces.

Semicorex Microporel SIC Chuck est conçu avec les besoins de la fabrication moderne des semi-conducteurs à l'esprit. Que vous ayez besoin de matériaux légers pour un repositionnement facile ou des matériaux plus lourds et plus rigides pour une manipulation précise, notre mandrin peut être personnalisé pour s'adapter à vos spécifications exactes. Avec une gamme d'options de matériaux de base, chacune offrant des avantages uniques pour les besoins de traitement spécifiques, Semicorex offre un produit qui combine la précision, la polyvalence et la durabilité. De plus, la surface microporeuse garantit que les plaquettes sont maintenues en toute sécurité et uniformément, minimisant le risque de dommages et assurant une manipulation de qualité sur chaque processus.

Pour les fabricants de semi-conducteurs à la recherche de solutions de manutention de plaquettes fiables, personnalisables et haute performance, le mandrin SIC microporeux semi-coréx offre l'équilibre parfait de précision, de flexibilité des matériaux et de performances durables. Avec notre produit, vous pouvez être assuré que votre processus de manutention de la plaquette sera efficace, sûr et très précis.