Semicorex est un fabricant et fournisseur à grande échelle de graphite revêtu de carbure de silicium en Chine. Nos bagues d'admission MOCVD présentent un bon avantage en termes de prix et couvrent de nombreux marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme.
Semicorex fournit des anneaux d'entrée MOCVD utilisés dans le dépôt et le traitement des plaquettes, qui sont vraiment stables pour le RTA, le RTP ou le nettoyage chimique agressif. Nos anneaux d'entrée MOCVD sont dotés d'une construction en graphite revêtu de carbure de silicium (SiC) de haute pureté, qui offre une résistance thermique supérieure, une uniformité thermique uniforme pour une épaisseur et une résistance constantes de la couche épi, ainsi qu'une résistance chimique durable. Le revêtement cristallin fin de SiC fournit une surface propre et lisse, essentielle pour la manipulation puisque les tranches immaculées entrent en contact avec le suscepteur en de nombreux points sur toute leur surface.
Chez Semicorex, nous nous concentrons sur la fourniture d'anneaux d'entrée MOCVD de haute qualité et rentables, nous accordons la priorité à la satisfaction du client et fournissons des solutions rentables. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme, en fournissant des produits de haute qualité et un service client exceptionnel.
Paramètres des anneaux d'entrée MOCVD
Principales spécifications du revêtement CVD-SIC |
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Propriétés SiC-CVD |
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Structure cristalline |
Phase β du FCC |
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Densité |
g/cm³ |
3.21 |
Dureté |
Dureté Vickers |
2500 |
Taille des grains |
µm |
2~10 |
Pureté chimique |
% |
99.99995 |
Capacité thermique |
J kg-1 K-1 |
640 |
Température de sublimation |
℃ |
2700 |
Force de flexion |
MPa (RT 4 points) |
415 |
Module de Young |
Gpa (courbure 4pt, 1300℃) |
430 |
Expansion thermique (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Conductivité thermique |
(W/mK) |
300 |
Caractéristiques des anneaux d'entrée MOCVD
- Bonne densité et peut jouer un bon rôle protecteur dans les environnements de travail à haute température et corrosifs.
- Point de fusion élevé, résistance à l'oxydation à haute température, résistance à la corrosion.