Anneaux d'entrée MOCVD

Semicorex fournit des anneaux d'entrée MOCVD utilisés dans le dépôt et le traitement des plaquettes, qui sont vraiment stables pour le RTA, le RTP ou le nettoyage chimique agressif. Nos anneaux d'entrée MOCVD ont une construction en graphite revêtu de carbure de silicium (SiC) de haute pureté, qui offre une résistance à la chaleur supérieure, même une uniformité thermique pour une épaisseur et une résistance constantes de la couche épi et une résistance chimique durable. Le revêtement en cristal SiC fin offre une surface propre et lisse, essentielle pour la manipulation puisque les plaquettes vierges entrent en contact avec le suscepteur en de nombreux points sur toute leur surface.

Chez Semicorex, nous nous concentrons sur la fourniture d'anneaux d'entrée MOCVD de haute qualité et rentables, nous accordons la priorité à la satisfaction du client et fournissons des solutions rentables. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme, offrant des produits de haute qualité et un service client exceptionnel.

Paramètres des anneaux d'entrée MOCVD

Caractéristiques des bagues d'admission MOCVD

- Bonne densité et peut jouer un bon rôle protecteur dans les environnements de travail à haute température et corrosifs.

- Point de fusion élevé, résistance à l'oxydation à haute température, résistance à la corrosion.