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Bagues d'admission MOCVD

Bagues d'admission MOCVD

Semicorex est un fabricant et fournisseur à grande échelle de graphite revêtu de carbure de silicium en Chine. Nos bagues d'admission MOCVD présentent un bon avantage en termes de prix et couvrent de nombreux marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme.

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Description du produit

Semicorex fournit des anneaux d'entrée MOCVD utilisés dans le dépôt et le traitement des plaquettes, qui sont vraiment stables pour le RTA, le RTP ou le nettoyage chimique agressif. Nos anneaux d'entrée MOCVD sont dotés d'une construction en graphite revêtu de carbure de silicium (SiC) de haute pureté, qui offre une résistance thermique supérieure, une uniformité thermique uniforme pour une épaisseur et une résistance constantes de la couche épi, ainsi qu'une résistance chimique durable. Le revêtement cristallin fin de SiC fournit une surface propre et lisse, essentielle pour la manipulation puisque les tranches immaculées entrent en contact avec le suscepteur en de nombreux points sur toute leur surface.

Chez Semicorex, nous nous concentrons sur la fourniture d'anneaux d'entrée MOCVD de haute qualité et rentables, nous accordons la priorité à la satisfaction du client et fournissons des solutions rentables. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme, en fournissant des produits de haute qualité et un service client exceptionnel.


Paramètres des anneaux d'entrée MOCVD

Principales spécifications du revêtement CVD-SIC

Propriétés SiC-CVD

Structure cristalline

Phase β du FCC

Densité

g/cm³

3.21

Dureté

Dureté Vickers

2500

Taille des grains

µm

2~10

Pureté chimique

%

99.99995

Capacité thermique

J kg-1 K-1

640

Température de sublimation

2700

Force de flexion

MPa (RT 4 points)

415

Module de Young

Gpa (courbure 4pt, 1300℃)

430

Expansion thermique (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Conductivité thermique

(W/mK)

300


Caractéristiques des anneaux d'entrée MOCVD

- Bonne densité et peut jouer un bon rôle protecteur dans les environnements de travail à haute température et corrosifs.

- Point de fusion élevé, résistance à l'oxydation à haute température, résistance à la corrosion.




Balises actives: Anneaux d'entrée MOCVD, Chine, fabricants, fournisseurs, usine, personnalisés, en vrac, avancés, durables
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