Semicorex est un nom de confiance dans l'industrie des semi-conducteurs, fournissant un suscepteur planétaire MOCVD de haute qualité pour semi-conducteurs. Notre produit est conçu pour répondre aux besoins spécifiques des fabricants de semi-conducteurs à la recherche d'un support capable d'offrir d'excellentes performances, stabilité et durabilité. Contactez-nous dès aujourd'hui pour en savoir plus sur notre produit et comment nous pouvons vous aider avec vos besoins de fabrication de semi-conducteurs.
Notre suscepteur planétaire MOCVD pour semi-conducteur présente une résistance à l'oxydation à haute température, assurant sa stabilité à des températures élevées jusqu'à 1600 ° C. Il est également très pur, fabriqué par dépôt chimique en phase vapeur CVD dans des conditions de chloration à haute température, garantissant l'uniformité et la cohérence du produit, même le profil thermique et le schéma d'écoulement de gaz laminaire.
Contactez-nous dès aujourd'hui pour en savoir plus sur notre suscepteur planétaire MOCVD pour semi-conducteur.
Paramètres du suscepteur planétaire MOCVD pour semi-conducteur
Principales caractéristiques du revêtement CVD-SIC |
||
Propriétés SiC-CVD |
||
Structure en cristal |
Phase β FCC |
|
Densité |
g/cm³ |
3.21 |
Dureté |
Dureté Vickers |
2500 |
Taille d'un grain |
μm |
2~10 |
Pureté chimique |
% |
99.99995 |
Capacité thermique |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Température de sublimation |
℃ |
2700 |
Force Felexurale |
MPa (RT 4 points) |
415 |
Module de Young |
Gpa (pli 4pt, 1300â) |
430 |
Dilatation Thermique (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Conductivité thermique |
(W/mK) |
300 |
Caractéristiques du suscepteur en graphite revêtu de SiC pour MOCVD
- Éviter le décollement et assurer le revêtement sur toutes les surfaces
Résistance à l'oxydation à haute température : Stable à haute température jusqu'à 1600°C
Haute pureté : fabriqué par dépôt chimique en phase vapeur CVD dans des conditions de chloration à haute température.
Résistance à la corrosion : dureté élevée, surface dense et particules fines.
Résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.
- Obtenez le meilleur schéma d'écoulement de gaz laminaire
- Garantir l'uniformité du profil thermique
- Empêcher toute contamination ou diffusion d'impuretés