Suscepteur planétaire MOCVD pour semi-conducteurs

Semicorex est un nom de confiance dans l'industrie des semi-conducteurs, fournissant un suscepteur planétaire MOCVD de haute qualité pour les semi-conducteurs. Notre produit est conçu pour répondre aux besoins spécifiques des fabricants de semi-conducteurs à la recherche d'un support capable d'offrir d'excellentes performances, stabilité et durabilité. Contactez-nous dès aujourd'hui pour en savoir plus sur notre produit et comment nous pouvons vous aider avec vos besoins en matière de fabrication de semi-conducteurs.

envoyer une demande

Description du produit

Notre suscepteur planétaire MOCVD pour semi-conducteurs présente une résistance à l'oxydation à haute température, garantissant sa stabilité à des températures élevées jusqu'à 1 600 °C. Il est également très pur, fabriqué par dépôt chimique en phase vapeur CVD dans des conditions de chloration à haute température, garantissant l'uniformité et la consistance du produit, même le profil thermique et le modèle d'écoulement de gaz laminaire.
Contactez-nous dès aujourd'hui pour en savoir plus sur notre suscepteur planétaire MOCVD pour semi-conducteurs.

Paramètres du suscepteur planétaire MOCVD pour semi-conducteurs

Principales spécifications du revêtement CVD-SIC
Propriétés SiC-CVD
Structure cristalline	Phase β du FCC
Densité	g/cm³	3.21
Dureté	Dureté Vickers	2500
Taille des grains	µm	2~10
Pureté chimique	%	99.99995
Capacité thermique	J kg-1 K-1	640
Température de sublimation	℃	2700
Force de flexion	MPa (RT 4 points)	415
Module de Young	Gpa (courbure 4pt, 1300℃)	430
Expansion thermique (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivité thermique	(W/mK)	300

Caractéristiques du suscepteur en graphite revêtu de SiC pour MOCVD

- Éviter de se décoller et assurer un revêtement sur toutes les surfaces
Résistance à l'oxydation à haute température : Stable à haute température jusqu'à 1600°C
Haute pureté : fabriqué par dépôt chimique en phase vapeur CVD dans des conditions de chloration à haute température.
Résistance à la corrosion : dureté élevée, surface dense et particules fines.
Résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.
- Obtenez le meilleur modèle de flux de gaz laminaire
- Garantir la régularité du profil thermique
- Empêcher toute contamination ou diffusion d'impuretés