Suscepteur planétaire

Le suscepteur planétaire semicoréx est un composant indispensable pour les réacteurs épitaxy semi-conducteurs, spécialement conçu pour l'équipement Aixtron G5 +. Construit à partir de graphite de haute pureté etEnrobé de carbure de silicium (sic), ce suscepteur garantit une stabilité thermique supérieure, une résistance chimique exceptionnelle et des performances inégalées dans des environnements à haute température.

Le réacteur Aixtron G5 + Epitaxy est une référence dans l'industrie pour GAN, sic et autres processus de croissance des semi-conducteurs composés. Le suscepteur planétaire est essentiel dans l'optimisation du débit de gaz, assurant une rotation précise des plaquettes, le maintien d'un contrôle exact de la température et la réalisation d'un dépôt uniforme de couches épitaxiales. Son design innovant améliore considérablement la répétabilité des processus, ce qui en fait le choix idéal pour les environnements de production à haut volume.

Caractéristiques clés  

- Composition de matériau avancée: en graphite de haute pureté avec un revêtement SIC, offrant une durabilité et une résistance améliorées aux conditions de processus sévères.  

- Performances thermiques optimisées: assure une distribution de chaleur uniforme, critique pour la croissance de la couche épitaxiale de haute précision.  

- Résistance chimique: le revêtement SIC empêche l'oxydation du graphite, prolongeant la durée de vie du suscepteur et maintenait la pureté du processus.  

- Ingénierie de précision: conçue pour répondre aux exigences strictes des systèmes AIXTRON G5 +, assurant une intégration transparente et une efficacité optimale des réacteurs.  

- Uniformité de surface élevée: minimise la contamination des particules, soutenant la qualité supérieure des plaquettes et un rendement plus élevé dans la fabrication de semi-conducteurs.  

Avantages de notre suscepteur planétaire  

- durée de vie prolongée: leRevêtement sicRéduit considérablement l'usure, entraînant une fréquence de remplacement plus faible et une réduction des coûts opérationnels.  

- Amélioration de la stabilité du processus: assure un chauffage cohérent et un minimum de gradients thermiques, conduisant à une production de plaquettes de haute qualité.  

- Compatibilité et personnalisation: Disponible dans des conceptions standard et personnalisées pour répondre aux exigences de processus AIXTRON G5 + spécifiques.  

GraphiteLes pièces jouent un rôle indispensable et très important dans le processus de semi-conducteur. La qualité des matériaux en graphite a un grand impact sur la qualité des produits finis. Notre cohérence par lots en graphite et notre homogénéité des matériaux peuvent être contrôlées et garanties par le processus de production.

1. Production de petits lots, le four à carbonisation utilise uniquement une petite fournaise avec seulement 50 mètres cubes

2. Chaque morceau de matériau est surveillé et suivi

3. Surveillance de la température multi-points dans l'espace du four pour garantir que la différence de température est maintenue dans une très petite plage

4. Surveillance de la température multi-points sur le matériau pour garantir que la différence de température est maintenue dans une très petite plage

Le suscepteur planétaire semicoréx est la solution premium pour les réacteurs Aixtron G5 +, offrant une stabilité thermique exceptionnelle, une résistance chimique et des performances de précision. Organisée pour les processus de fabrication des semi-conducteurs les plus exigeants, il entraîne des rendements de plaquettes plus élevés, minimise le risque de contamination et prolonge la durée de vie de l'équipement. Mettez à niveau votre système d'épitaxie avec un suscepteur de haut niveau pour les résultats inégalés.