Chuck sic poreux

Semicorex Poreous Sic Chuck est une partie en céramique qui a été assemblée avec précision pour une manipulation sûre et efficace des substrats de plaquettes pour les applications de semi-conducteur à travers des étapes de processus telles que l'inspection, les tests et la lithographie. Le mandrin est fabriqué en céramique de carbure de silicium micro-poreux (sic). Le SIC a une résistance mécanique, une résistance chimique et des propriétés de stabilité thermique nécessaires aux environnements de fabrication de semi-conducteurs de pointe.

Une caractéristique essentielle du mandrin sic poreux est sa microstructure unique, qui présente une porosité de 35% à 40%. Avec la porosité du mandrin contrôlé étroitement, la conception sus-jacente permet de dispenser uniformément l'aspiration de vide à travers le mandrin générant un support stable et sans contact cohérent pour les substrats de tranche typiquement délicats: le silicium ou le GAN, et d'autres semi-conducteurs composés.  Le mode d'aspiration sous vide évite à la fois la contamination par les particules et les dommages mécaniques, préservant ainsi l'intégrité de la tranche pendant le processus.

Le corps en céramique du mandrin est principalement une pureté de grande pureté, avec d'autres céramiques, telles que l'alumine (AL2O3), potentiellement utilisées pour un nombre limité de couches fonctionnelles en fonction de l'application. La recherche et le développement du matériau permettent à la taille et à la distribution des pores d'être gérés à concevoir le flux d'air et la force de maintien en fonction de la taille des plaquettes et des conditions de processus. S'il est important de contrôler l'aspirateur sur des plaquettes plus minces, une taille de pores plus petite sera incorporée. Pour les débits plus rapides, le cas échéant, la taille des pores plus grande sera utilisée.

Les mandrins de sic poreux présentent une variation des couleurs à la suite de la taille des pores variables, des compositions en céramique et des conditions de tir. Les Chucks SIC ont tendance à être noirs ou gris foncé car la couleur du carbure de silicium est gris ou noir, mais les ornes avec une grande teneur en alumine ont tendance à être de couleur blanche. Les variances de couleur n'ont aucun effet sur les performances du produit et ne représentent que les propriétés modifiées qui ont été créées pour des applications spécifiques pour se conformer aux besoins spécifiques des clients.

Dans les outils de traitement des plaquettes haut de gamme, la stabilité thermique et l'inertie chimique sont les deux caractéristiques les plus importantes. Le carbure de silicium offre une excellente résistance aux gaz de corrosion et au cyclisme thermique. Le SIC Chuck poreux fonctionne avec succès dans les chambres à vide et les outils de gravure du plasma, et il continue de bien fonctionner avec des températures changeantes. Leur capacité à maintenir la stabilité de la dimmension du mandrin garantit que la tranche reste au même endroit, même si les exigences de précision peuvent être inférieures à un submicron en fonction du processus contribuant à la dimension stabilisée garantit une précision.

Les enfants poreux semicoréx sont fabriqués à l'aide de procédures de formation et de frittage autorisées qui fournissent une porosité uniforme, une résistance à la flexion élevée et une faible expansion thermique. Chaque mandrin est inspecté pour la structure des pores, la planéité et les performances de vide pour assurer un produit fiable et reproductible. Des conceptions personnalisées sont également disponibles pour répondre à des tailles de plaquettes spécifiques et à des exigences d'intégration du système telles que les canaux d'écoulement de gaz ou les caractéristiques de montage.

En conclusion, le Chuck SIC poreux est un système de support de substrat à haute fiabilité qui a été soigneusement conçu pour fonctionner en conjonction avec les exigences de traitement de la tranche de précision. Avec une capacité de maintien à vide élevé, une structure de pores personnalisable et une stabilité exceptionnelle des matériaux, il s'agit d'un produit indispensable dans les lignes de fabrication des semi-conducteurs d'aujourd'hui.