Mandrins à vide en SiC poreux

SiC poreux semicorexmandrins à videsont des composants indispensables, qui peuvent être largement utilisés dans les processus avancés de fabrication de semi-conducteurs, tels que l'amincissement des plaquettes, le découpage en dés, le meulage, le polissage, la photolithographie et la gravure. Leur plate-forme d'adsorption est construite avec une plaque de céramique SiC poreuse avec de nombreux pores à l'échelle micrométrique uniformément répartis. Avec un diamètre de pores constant et un taux de passage exceptionnel, les mandrins à vide en SiC poreux Semicorex offrent un chemin de gaz fluide pour l'évacuation sous vide. Pendant le fonctionnement, une pression négative stable et uniforme est générée entre le mandrin et la tranche, permettant un serrage sous vide et une libération très efficaces des tranches semi-conductrices.

Avantages des mandrins à vide SiC poreux Semicorex 

1. Précision de traitement exceptionnelle

Les tranches de semi-conducteurs traitées dans le cadre de la fabrication avancée de semi-conducteurs sont extrêmement fines, de sorte que même une légère flexion, vibration ou contrainte locale inégale peut entraîner une rupture, une déformation et une précision réduite dans des processus critiques comme la lithographie. SemicorexSiC poreuxLes mandrins à vide sont traités par meulage et polissage de haute précision, obtenant une rugosité de surface parfaite de Ra ＜ 0,1 μm. Cela permet aux mandrins à vide SiC poreux Semicorex de fournir une surface opérationnelle optimisée pour la fabrication de semi-conducteurs de haute précision.

2. Haute propreté et haute résistance à la corrosion

Pour répondre pleinement aux normes strictes de propreté des semi-conducteurs, Semicorex fabrique des mandrins à vide en SiC poreux avec des matières premières en carbure de silicium de haute pureté via frittage à haute température. Cela garantit que les mandrins sont exempts de particules et de contamination métallique migratrice. Bénéficiant de l'excellente stabilité chimique du SiC, les mandrins à vide en SiC poreux Semicorex sont capables de résister aux environnements de corrosion difficiles et de ne générer aucun sous-produit supplémentaire, ce qui les rend parfaitement adaptés aux processus de fabrication de semi-conducteurs propres de haute qualité.

3. Excellente durabilité et stabilité à long terme

Les mandrins à vide utilisés dans les lignes de production doivent résister à des milliers de cycles d'adsorption et de libération, ainsi qu'à des fluctuations de température à long terme. Cela impose des exigences extrêmement élevées en matière de performances des matériaux des mandrins à vide. Les mandrins à vide SiC poreux Semicorex présentent une dureté de matériau et une résistance à l'usure exceptionnelles, avec une dilatation thermique stable. Ils ne présentent aucun fluage ni dégradation des performances dans des conditions de température élevée, ce qui prolonge considérablement leur durée de vie et réduit la fréquence de maintenance et de remplacement des composants.