Tube de traitement pour fours à diffusion

Le tube de procédé Semicorex pour fours à diffusion est généralement constitué de SiC de haute pureté avec revêtement CVD SiC. Ces matériaux sont choisis pour leur excellente stabilité thermique et leur résistance aux gaz corrosifs et aux hautes températures.

Le tube de procédé Semicorex pour fours à diffusion est de forme cylindrique, avec une extrémité fermée et une extrémité ouverte. Il est inséré dans le four de diffusion, formant une chambre étanche où se déroule le processus de diffusion. Le tube est soigneusement conçu pour éviter toute fuite de gaz et maintenir une atmosphère contrôlée à l'intérieur du four.

un tube de traitement pour fours à diffusion joue un rôle crucial dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il fournit un environnement contrôlé pour les processus de diffusion, garantissant des profils de dopage uniformes et un contrôle précis des paramètres de processus. L'utilisation de matériaux de haute pureté et des considérations de conception soignées aident à maintenir l'intégrité du tube de traitement et à garantir la production de tranches de semi-conducteurs de haute qualité.