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Les plaques de revêtement semicoréx RTP SIC sont des porteurs de plaquettes haute performance conçus pour une utilisation dans des environnements de traitement thermique rapides exigeants. Confiance par les principaux fabricants de semi-conducteurs, Semicorex offre une stabilité thermique, une durabilité et un contrôle de contamination supérieurs soutenus par des normes de qualité rigoureuses et une fabrication de précision. *

L'anneau Semicorex RTP est un anneau en graphite recouvert de SiC conçu pour les applications hautes performances dans les systèmes de traitement thermique rapide (RTP). Choisissez Semicorex pour notre technologie de matériaux avancée, garantissant une durabilité, une précision et une fiabilité supérieures dans la fabrication de semi-conducteurs.*

La plaque porteuse en graphite RTP de Semicorex est la solution parfaite pour les applications de traitement de tranches de semi-conducteurs, y compris le traitement de croissance épitaxiale et de manipulation de tranches. Notre produit est conçu pour offrir une résistance thermique et une uniformité thermique supérieures, garantissant que les suscepteurs d'épitaxie sont soumis à l'environnement de dépôt, avec une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion.

Le support de revêtement Semicorex RTP SiC offre une résistance thermique et une uniformité thermique supérieures, ce qui en fait la solution parfaite pour les applications de traitement de plaquettes semi-conductrices. Avec son graphite revêtu de SiC de haute qualité, ce produit est conçu pour résister aux environnements de dépôt les plus difficiles pour la croissance épitaxiale. La conductivité thermique élevée et les excellentes propriétés de répartition de la chaleur garantissent des performances fiables pour le nettoyage RTA, RTP ou chimique agressif.

Le support de revêtement Semicorex RTP/RTA SiC est conçu pour résister aux conditions les plus difficiles de l'environnement de dépôt. Grâce à sa résistance élevée à la chaleur et à la corrosion, ce produit est conçu pour offrir des performances optimales pour la croissance épitaxiale. Le support revêtu de SiC présente une conductivité thermique élevée et d'excellentes propriétés de répartition de la chaleur, garantissant des performances fiables pour le nettoyage RTA, RTP ou chimique agressif.

La plaque support RTP en graphite SiC Semicorex pour MOCVD offre une résistance thermique et une uniformité thermique supérieures, ce qui en fait la solution parfaite pour les applications de traitement de plaquettes de semi-conducteurs. Avec un graphite revêtu de SiC de haute qualité, ce produit est conçu pour résister aux environnements de dépôt les plus difficiles pour la croissance épitaxiale. La conductivité thermique élevée et les excellentes propriétés de répartition de la chaleur garantissent des performances fiables pour le nettoyage RTA, RTP ou chimique agressif.