La plaque de support Semicorex SiC Graphite RTP pour MOCVD offre une résistance à la chaleur et une uniformité thermique supérieures, ce qui en fait la solution parfaite pour les applications de traitement de tranches de semi-conducteurs. Avec un graphite revêtu de SiC de haute qualité, ce produit est conçu pour résister aux environnements de dépôt les plus difficiles pour la croissance épitaxiale. La conductivité thermique élevée et les excellentes propriétés de distribution de la chaleur garantissent des performances fiables pour le nettoyage RTA, RTP ou chimique agressif.
En savoir plusenvoyer une demandeLe support Semicorex RTP pour la croissance épitaxiale MOCVD est idéal pour les applications de traitement de tranches de semi-conducteurs, y compris la croissance épitaxiale et le traitement de manipulation de tranches. Les suscepteurs en graphite de carbone et les creusets en quartz sont traités par MOCVD à la surface du graphite, de la céramique, etc. Nos produits ont un bon avantage de prix et couvrent de nombreux marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
En savoir plusenvoyer une demandeLe corps en graphite revêtu de carbure de silicium Semicorex est le choix parfait pour les applications de fabrication de semi-conducteurs qui nécessitent une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion. Ses propriétés exceptionnelles de conductivité thermique et de répartition de la chaleur le rendent idéal pour une utilisation dans les procédés LPE et autres environnements à haute température.
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