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Plateau de support de gravure PSS pour LED

Plateau de support de gravure PSS pour LED

Chez Semicorex, nous avons conçu le plateau support de gravure PSS pour LED spécifiquement pour les environnements difficiles requis par les processus de croissance épitaxiale et de manipulation des plaquettes. Notre support en graphite ultra-pur est idéal pour les phases de dépôt de couches minces comme le MOCVD, les suscepteurs d'épitaxie, les plates-formes pancake ou satellite, et les traitements de manipulation de tranches tels que la gravure. Le support revêtu de SiC présente une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion, d'excellentes propriétés de répartition de la chaleur et une conductivité thermique élevée. Notre plateau de support de gravure PSS pour LED est rentable et offre un bon avantage en termes de prix. Nous desservons de nombreux marchés européens et américains et sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Description du produit

Le plateau support de gravure PSS pour LED de Semicorex est conçu pour les environnements difficiles requis pour les processus de croissance épitaxiale et de manipulation de plaquettes. Notre support en graphite ultra-pur est conçu pour supporter les tranches lors des phases de dépôt de couches minces telles que les suscepteurs MOCVD et d'épitaxie, les plates-formes pancake ou satellite. Le support revêtu de SiC présente une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion, d'excellentes propriétés de répartition de la chaleur et une conductivité thermique élevée. Nos produits sont rentables et présentent un bon avantage en termes de prix. Nous desservons de nombreux marchés européens et américains et sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

Contactez-nous dès aujourd'hui pour en savoir plus sur notre plateau de support de gravure PSS pour LED.


Paramètres du plateau de support de gravure PSS pour LED

Principales spécifications du revêtement CVD-SIC

Propriétés SiC-CVD

Structure cristalline

Phase β du FCC

Densité

g/cm³

3.21

Dureté

Dureté Vickers

2500

Taille des grains

µm

2~10

Pureté chimique

%

99.99995

Capacité thermique

J kg-1 K-1

640

Température de sublimation

2700

Force de flexion

MPa (RT 4 points)

415

Module de Young

Gpa (courbure 4pt, 1300℃)

430

Expansion thermique (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Conductivité thermique

(W/mK)

300


Caractéristiques du plateau de support de gravure PSS pour LED

- Éviter de se décoller et assurer un revêtement sur toutes les surfaces

Résistance à l'oxydation à haute température : Stable à haute température jusqu'à 1600°C

Haute pureté : fabriqué par dépôt chimique en phase vapeur CVD dans des conditions de chloration à haute température.

Résistance à la corrosion : dureté élevée, surface dense et particules fines.

Résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.

- Obtenez le meilleur modèle de flux de gaz laminaire

- Garantir la régularité du profil thermique

- Empêcher toute contamination ou diffusion d'impuretés





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