Plateau de support de gravure PSS pour LED

Le plateau de support de gravure PSS pour LED de Semicorex est conçu pour les environnements difficiles requis pour les processus de croissance épitaxiale et de manipulation de plaquettes. Notre support en graphite ultra-pur est conçu pour supporter les wafers lors des phases de dépôt de couches minces comme les suscepteurs MOCVD et d'épitaxie, les plateformes crêpes ou satellites. Le support revêtu de SiC présente une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion, d'excellentes propriétés de répartition de la chaleur et une conductivité thermique élevée. Nos produits sont rentables et ont un bon avantage de prix. Nous desservons de nombreux marchés européens et américains et sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

Contactez-nous dès aujourd'hui pour en savoir plus sur notre plateau de support de gravure PSS pour LED.

Paramètres du plateau de support de gravure PSS pour LED

Caractéristiques du plateau de support de gravure PSS pour LED

- Éviter le décollement et assurer le revêtement sur toutes les surfaces

Résistance à l'oxydation à haute température : Stable à haute température jusqu'à 1600°C

Haute pureté : fabriqué par dépôt chimique en phase vapeur CVD dans des conditions de chloration à haute température.

Résistance à la corrosion : dureté élevée, surface dense et particules fines.

Résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.

- Obtenez le meilleur schéma d'écoulement de gaz laminaire

- Garantir l'uniformité du profil thermique

- Empêcher toute contamination ou diffusion d'impuretés