Plateau de support de gravure PSS pour LED

Le plateau support de gravure PSS pour LED de Semicorex est conçu pour les environnements difficiles requis pour les processus de croissance épitaxiale et de manipulation de plaquettes. Notre support en graphite ultra-pur est conçu pour supporter les tranches lors des phases de dépôt de couches minces telles que les suscepteurs MOCVD et d'épitaxie, les plates-formes pancake ou satellite. Le support revêtu de SiC présente une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion, d'excellentes propriétés de répartition de la chaleur et une conductivité thermique élevée. Nos produits sont rentables et présentent un bon avantage en termes de prix. Nous desservons de nombreux marchés européens et américains et sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

Contactez-nous dès aujourd'hui pour en savoir plus sur notre plateau de support de gravure PSS pour LED.

Paramètres du plateau de support de gravure PSS pour LED

Caractéristiques du plateau de support de gravure PSS pour LED

- Éviter de se décoller et assurer un revêtement sur toutes les surfaces

Résistance à l'oxydation à haute température : Stable à haute température jusqu'à 1600°C

Haute pureté : fabriqué par dépôt chimique en phase vapeur CVD dans des conditions de chloration à haute température.

Résistance à la corrosion : dureté élevée, surface dense et particules fines.

Résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.

- Obtenez le meilleur modèle de flux de gaz laminaire

- Garantir la régularité du profil thermique

- Empêcher toute contamination ou diffusion d'impuretés