Support de manutention PSS pour le transfert de plaquettes

Le support de manutention PSS pour transfert de plaquettes de Semicorex est conçu pour les applications d'équipement d'épitaxie les plus exigeantes. Notre support en graphite ultra pur peut résister aux environnements difficiles, aux températures élevées et aux nettoyages chimiques agressifs. Le support revêtu de SiC présente d'excellentes propriétés de répartition de la chaleur, une conductivité thermique élevée et est rentable. Nos produits sont largement utilisés sur de nombreux marchés européens et américains et nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Description du produit

Le support de manutention PSS pour le transfert de plaquettes de Semicorex est conçu pour répondre aux exigences de nettoyage chimique à haute température et sévères pour les processus de croissance épitaxiale et de manipulation de plaquettes. Notre support en graphite ultra-pur est idéal pour les phases de dépôt de couches minces comme le MOCVD, les suscepteurs d'épitaxie, les plates-formes pancake ou satellite, et les traitements de manipulation de tranches tels que la gravure. Le support revêtu de SiC présente d'excellentes propriétés de répartition de la chaleur, une conductivité thermique élevée et est rentable.

Contactez-nous dès aujourd'hui pour en savoir plus sur notre support de manutention PSS pour le transfert de plaquettes.

Paramètres du support de manutention PSS pour le transfert de plaquettes

Principales spécifications du revêtement CVD-SIC
Propriétés SiC-CVD
Structure cristalline	Phase β du FCC
Densité	g/cm³	3.21
Dureté	Dureté Vickers	2500
Taille des grains	µm	2~10
Pureté chimique	%	99.99995
Capacité thermique	J kg-1 K-1	640
Température de sublimation	℃	2700
Force de flexion	MPa (RT 4 points)	415
Module de Young	Gpa (courbure 4pt, 1300℃)	430
Expansion thermique (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivité thermique	(W/mK)	300

Caractéristiques du support de manutention PSS pour le transfert de plaquettes

- Éviter de se décoller et assurer un revêtement sur toutes les surfaces

Résistance à l'oxydation à haute température : Stable à haute température jusqu'à 1600°C

Haute pureté : fabriqué par dépôt chimique en phase vapeur CVD dans des conditions de chloration à haute température.

Résistance à la corrosion : dureté élevée, surface dense et particules fines.

Résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.

- Obtenez le meilleur modèle de flux de gaz laminaire

- Garantir la régularité du profil thermique

- Empêcher toute contamination ou diffusion d'impuretés

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