Effecteur d'extrémité de robot

Semicorex est l'un des principaux fabricants indépendants de graphite revêtu de carbure de silicium, de graphite de haute pureté usiné avec précision, se concentrant sur les domaines du graphite revêtu de carbure de silicium, de la céramique de carbure de silicium et du MOCVP de la fabrication de semi-conducteurs. Notre robot effecteur a un bon avantage de prix et couvre de nombreux marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Description du produit

Robot End Effector est la main du robot qui déplace les tranches de semi-conducteur entre les positions dans l'équipement de traitement des tranches et les supports. L'effecteur d'extrémité du robot doit être dimensionnellement précis et thermiquement stable, tout en ayant une surface lisse et résistante à l'abrasion pour manipuler les plaquettes en toute sécurité sans endommager les dispositifs ni produire de contamination particulaire. Notre effecteur d'extrémité de robot à revêtement en carbure de silicium (SiC) de haute pureté offre une résistance à la chaleur supérieure, une uniformité thermique uniforme pour une épaisseur et une résistance constantes de la couche épi et une résistance chimique durable.

Paramètres de l'effecteur final du robot

Principales caractéristiques du revêtement CVD-SIC
Propriétés SiC-CVD
Structure en cristal	Phase β FCC
Densité	g/cm³	3.21
Dureté	Dureté Vickers	2500
Taille d'un grain	μm	2~10
Pureté chimique	%	99.99995
Capacité thermique	J·kg-1 ·K-1	640
Température de sublimation	℃	2700
Force Felexurale	MPa (RT 4 points)	415
Module de Young	Gpa (pli 4pt, 1300â)	430
Dilatation Thermique (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivité thermique	(W/mK)	300