Effecteur final de robot

Semicorex est l'un des principaux fabricants indépendants de graphite revêtu de carbure de silicium et de graphite de haute pureté usiné avec précision, se concentrant sur les domaines du graphite revêtu de carbure de silicium, de la céramique de carbure de silicium et du MOCVP de la fabrication de semi-conducteurs. Notre robot effecteur final présente un bon avantage en termes de prix et couvre de nombreux marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Description du produit

Robot End Effector est la main du robot qui déplace les tranches de semi-conducteurs entre les positions dans l'équipement de traitement des tranches et les supports. L'effecteur final du robot doit être dimensionnellement précis et thermiquement stable, tout en ayant une surface lisse et résistante à l'abrasion pour manipuler les plaquettes en toute sécurité sans endommager les dispositifs ni produire de contamination particulaire. Notre effecteur final de robot à revêtement en carbure de silicium (SiC) de haute pureté offre une résistance thermique supérieure, une uniformité thermique uniforme pour une épaisseur et une résistance constantes de la couche épi, ainsi qu'une résistance chimique durable.

Paramètres de l'effecteur final du robot

Principales spécifications du revêtement CVD-SIC
Propriétés SiC-CVD
Structure cristalline	Phase β du FCC
Densité	g/cm³	3.21
Dureté	Dureté Vickers	2500
Taille des grains	µm	2~10
Pureté chimique	%	99.99995
Capacité thermique	J kg-1 K-1	640
Température de sublimation	℃	2700
Force de flexion	MPa (RT 4 points)	415
Module de Young	Gpa (courbure 4pt, 1300℃)	430
Expansion thermique (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivité thermique	(W/mK)	300