Support de plaquette semi-conductrice pour équipement MOCVD

Vous pouvez être assuré d'acheter un support de plaquette semi-conductrice pour équipement MOCVD dans notre usine. Les supports de plaquettes semi-conductrices sont un composant essentiel des équipements MOCVD. Ils sont utilisés pour transporter et protéger les tranches de semi-conducteurs pendant le processus de fabrication. Les supports de plaquettes semi-conductrices pour les équipements MOCVD sont fabriqués à partir de matériaux de haute pureté et sont conçus pour maintenir l'intégrité des plaquettes pendant le traitement.

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Description du produit

notre support de plaquettes semi-conductrices pour équipement MOCVD est un composant essentiel du processus de fabrication des semi-conducteurs. Il est fait de graphite de haute pureté avec revêtement en carbure de silicium par méthode CVD et est conçu pour accueillir plusieurs tranches. Le support offre plusieurs avantages, notamment un rendement amélioré, une productivité accrue, une contamination réduite, une sécurité accrue et une rentabilité. Si vous recherchez un support de plaquettes semi-conducteurs fiable et de haute qualité pour équipement MOCVD, notre produit est la solution parfaite.
Contactez-nous dès aujourd'hui pour en savoir plus sur notre support de plaquettes semi-conductrices pour équipement MOCVD.

Paramètres du support de plaquette semi-conductrice pour équipement MOCVD

Principales caractéristiques du revêtement CVD-SIC
Propriétés SiC-CVD
Structure en cristal	Phase β FCC
Densité	g/cm³	3.21
Dureté	Dureté Vickers	2500
Taille d'un grain	μm	2~10
Pureté chimique	%	99.99995
Capacité thermique	J·kg-1 ·K-1	640
Température de sublimation	℃	2700
Force Felexurale	MPa (RT 4 points)	415
Module de Young	Gpa (pli 4pt, 1300â)	430
Dilatation Thermique (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivité thermique	(W/mK)	300

Caractéristiques du suscepteur en graphite revêtu de SiC pour MOCVD

- Éviter le décollement et assurer le revêtement sur toutes les surfaces
Résistance à l'oxydation à haute température : Stable à haute température jusqu'à 1600°C
Haute pureté : fabriqué par dépôt chimique en phase vapeur CVD dans des conditions de chloration à haute température.
Résistance à la corrosion : dureté élevée, surface dense et particules fines.
Résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.
- Obtenez le meilleur schéma d'écoulement de gaz laminaire
- Garantir l'uniformité du profil thermique
- Empêcher toute contamination ou diffusion d'impuretés

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