Support de plaquette semi-conducteur pour équipement MOCVD

Vous pouvez être assuré d'acheter un support de plaquette semi-conducteur pour équipement MOCVD dans notre usine. Les supports de plaquettes semi-conductrices sont un composant essentiel des équipements MOCVD. Ils sont utilisés pour transporter et protéger les plaquettes semi-conductrices pendant le processus de fabrication. Les supports de plaquettes semi-conductrices pour équipements MOCVD sont fabriqués à partir de matériaux de haute pureté et sont conçus pour maintenir l'intégrité des plaquettes pendant le traitement.

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Description du produit

notre support de plaquette semi-conducteur pour équipement MOCVD est un composant essentiel du processus de fabrication des semi-conducteurs. Il est fabriqué en graphite de haute pureté avec un revêtement en carbure de silicium par méthode CVD et est conçu pour accueillir plusieurs tranches. Le transporteur offre plusieurs avantages, notamment un rendement amélioré, une productivité améliorée, une contamination réduite, une sécurité accrue et une rentabilité. Si vous recherchez un support de plaquette semi-conducteur fiable et de haute qualité pour les équipements MOCVD, notre produit est la solution parfaite.
Contactez-nous dès aujourd'hui pour en savoir plus sur notre support de plaquette semi-conductrice pour équipement MOCVD.

Paramètres du support de plaquette semi-conductrice pour équipement MOCVD

Principales spécifications du revêtement CVD-SIC
Propriétés SiC-CVD
Structure cristalline	Phase β du FCC
Densité	g/cm³	3.21
Dureté	Dureté Vickers	2500
Taille des grains	µm	2~10
Pureté chimique	%	99.99995
Capacité thermique	J kg-1 K-1	640
Température de sublimation	℃	2700
Force de flexion	MPa (RT 4 points)	415
Module de Young	Gpa (courbure 4pt, 1300℃)	430
Expansion thermique (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivité thermique	(W/mK)	300

Caractéristiques du suscepteur en graphite revêtu de SiC pour MOCVD

- Éviter de se décoller et assurer un revêtement sur toutes les surfaces
Résistance à l'oxydation à haute température : Stable à haute température jusqu'à 1600°C
Haute pureté : fabriqué par dépôt chimique en phase vapeur CVD dans des conditions de chloration à haute température.
Résistance à la corrosion : dureté élevée, surface dense et particules fines.
Résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.
- Obtenez le meilleur modèle de flux de gaz laminaire
- Garantir la régularité du profil thermique
- Empêcher toute contamination ou diffusion d'impuretés

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