Mandrin de plaquette semi-conducteur

Les composants revêtus de carbure de silicium de haute pureté Semicorex sont conçus pour résister aux environnements extrêmes du processus de manipulation des plaquettes. Notre semi-conducteur Wafer Chuck a un bon avantage de prix et couvre de nombreux marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Description du produit

Le mandrin de plaquette semi-conducteur ultra-plat Semicorex est revêtu de SiC de haute pureté utilisé dans le processus de manipulation des plaquettes. Mandrin de plaquette semi-conductrice par équipement MOCVD La croissance des composés a une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion, qui a une grande stabilité dans un environnement extrême et améliore la gestion du rendement pour le traitement des plaquettes semi-conductrices. Les configurations à faible contact de surface minimisent le risque de particules à l'arrière pour les applications sensibles.

Paramètres du mandrin de plaquette semi-conductrice

Principales caractéristiques du revêtement CVD-SIC
Propriétés SiC-CVD
Structure en cristal	Phase β FCC
Densité	g/cm³	3.21
Dureté	Dureté Vickers	2500
Taille d'un grain	μm	2~10
Pureté chimique	%	99.99995
Capacité thermique	J·kg-1 ·K-1	640
Température de sublimation	℃	2700
Force Felexurale	MPa (RT 4 points)	415
Module de Young	Gpa (pli 4pt, 1300â)	430
Dilatation Thermique (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivité thermique	(W/mK)	300