Mandrin de plaquette à semi-conducteur

Les composants avancés à revêtement en carbure de silicium de haute pureté Semicorex sont conçus pour résister aux environnements extrêmes du processus de manipulation des plaquettes. Notre mandrin à plaquettes semi-conductrices présente un bon avantage en termes de prix et couvre de nombreux marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Description du produit

Le mandrin de plaquette semi-conducteur ultra-plat Semicorex est recouvert de SiC de haute pureté et utilisé dans le processus de manipulation des plaquettes. Mandrin de plaquette semi-conducteur par équipement MOCVD La croissance du composé présente une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion, ce qui présente une grande stabilité dans un environnement extrême et améliore la gestion du rendement pour le traitement des plaquettes semi-conductrices. Les configurations à faible contact avec la surface minimisent le risque de particules arrière pour les applications sensibles.

Paramètres du mandrin de plaquette à semi-conducteur

Principales spécifications du revêtement CVD-SIC
Propriétés SiC-CVD
Structure cristalline	Phase β du FCC
Densité	g/cm³	3.21
Dureté	Dureté Vickers	2500
Taille des grains	µm	2~10
Pureté chimique	%	99.99995
Capacité thermique	J kg-1 K-1	640
Température de sublimation	℃	2700
Force de flexion	MPa (RT 4 points)	415
Module de Young	Gpa (courbure 4pt, 1300℃)	430
Expansion thermique (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivité thermique	(W/mK)	300