Semicorex fournit des céramiques de qualité semi-conductrice pour vos outils de semi-fabrication OEM et vos composants de manipulation de plaquettes. Nous sommes fabricant et fournisseur de films de revêtement en carbure de silicium depuis de nombreuses années. Notre manchon d'essieu SiC présente un bon avantage en termes de prix et couvre la plupart des marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
Nos manchons d'essieu SiC ont une bonne résistance à la corrosion et une excellente résistance aux températures élevées et aux chocs thermiques. Un module d'élasticité élevé se traduit en outre par une excellente stabilité dimensionnelle. De plus, il existe une porosité nulle et une faible densité de pores du matériau céramique.
Nous pouvons traiter toutes sortes de manchons d’essieu SiC selon les exigences des clients.
Paramètres du manchon d'essieu SiC
Propriétés techniques |
||||
Indice |
Unité |
Valeur |
||
Nom du matériau |
Carbure de silicium fritté par réaction |
Carbure de silicium fritté sans pression |
Carbure de silicium recristallisé |
|
Composition |
RBSIC |
SSIC |
R-SiC |
|
Densité apparente |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Résistance à la flexion |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) 90-100(1400°C) |
Résistance à la compression |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Dureté |
Bouton |
2700 |
2800 |
/ |
Briser la ténacité |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Conductivité thermique |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Coefficient de dilatation thermique |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Chaleur spécifique |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Température maximale de l'air |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Module élastique |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Semicorex a produit un manchon d'essieu SiC sous trois formes : carbure de silicium fritté par réaction (RBSiC), carbure de silicium fritté sans pression (SSiC) et carbure de silicium recristallisé (R-SiC).
La différence entre SSiC et RBSiC :
1. Le processus de frittage est différent. Le RBSiC consiste à infiltrer le Si libre dans le carbure de silicium à basse température, le SSiC est formé par retrait naturel à 2 100 degrés.
2. Les SSiC ont une surface plus lisse, une densité plus élevée et une résistance plus élevée. Pour certains joints ayant des exigences de surface plus strictes, le SSiC sera meilleur.
3. Temps d'utilisation différent sous différents pH et températures, SSiC est plus long que RBSiC
Caractéristiques du manchon d'essieu SiC
- Haute résistance (dureté Mohs 9,5, juste derrière le diamant)
- Résistance à la corrosion aux acides, alcalis, sels et solvants organiques
- Haute conductivité thermique, résistance au plasma, longue durée de vie
- Semi-conducteurs
Formes disponibles de céramiques en carbure de silicium :
● Tige en céramique/goupille en céramique/piston en céramique
● Tube en céramique / bague en céramique / manchon en céramique
● Bague en céramique / rondelle en céramique / entretoise en céramique
● Disque en céramique
● Plaque en céramique / bloc en céramique
● Boule en céramique
● Piston en céramique
● Buse en céramique
● Creuset en céramique
● Autres pièces en céramique sur mesure