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Bateau SiC pour la manipulation des plaquettes

Bateau SiC pour la manipulation des plaquettes

Fabriqué à partir d'un carbure de silicium d'une pureté exceptionnelle, le bateau Semicorex SiC pour la manipulation des plaquettes possède une construction qui comprend des fentes de précision pour sécuriser les plaquettes, atténuant ainsi tout mouvement pendant les procédures opérationnelles. Le choix du carbure de silicium comme matériau garantit non seulement la dureté et la résilience, mais également la capacité à supporter des températures élevées et une exposition à des produits chimiques. Cela fait du SiC Boat for Wafer Handling un composant essentiel dans une multitude d’étapes de production de semi-conducteurs, telles que la culture des cristaux, la diffusion, l’implantation ionique et les processus de gravure.

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Description du produit

Se distinguant par son rapport résistance/poids inégalé et ses propriétés conductrices thermiques supérieures, le bateau Semicorex SiC pour la manipulation des plaquettes subit un processus d'amélioration supplémentaire grâce à un revêtement CVD SiC. Cette couche de revêtement supplémentaire amplifie sa résistance aux rigueurs des environnements de traitement et le protège à la fois de la dégradation chimique et des fluctuations thermiques, prolongeant considérablement sa durée de vie opérationnelle et garantissant des performances constantes dans des conditions opérationnelles strictes.


Dans les opérations thermiques telles que le recuit ou la diffusion, le SiC Boat for Wafer Handling joue un rôle déterminant dans l’obtention d’une répartition uniforme de la température sur la surface de la plaquette. Son excellente conductivité thermique facilite une dispersion efficace de la chaleur, réduisant les disparités thermiques et favorisant l'uniformité des résultats du processus.


Le bateau Semicorex SiC pour la manipulation des plaquettes est apprécié pour sa fiabilité et ses performances exceptionnelles, répondant aux exigences rigoureuses de la production contemporaine de semi-conducteurs. Grâce à son adaptabilité aux processus de tranches individuelles et par lots, le SiC Boat for Wafer Handling se présente comme un outil essentiel pour les installations de production de semi-conducteurs dédiées à l'atteinte de normes de produits supérieures et à des rendements maximisés. Le rôle du SiC Boat for Wafer Handling est essentiel dans le respect des deux l'intégrité et la fiabilité des plaquettes, trouvant de nombreuses applications dans les équipements de production de semi-conducteurs, les appareils industriels et comme pièces de rechange.



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