Porte-bateaux SIC

Les détenteurs de bateaux semi-orecorex sont des dispositifs de support de précision conçus pour contenir des bateaux à plaquettes pendant les processus à haute température dans la fabrication de semi-conducteurs. Fabriqués à partir de carbure de silicium de haute pureté (SIC), ces porte-greffe présentent une excellente stabilité thermique, une résistance chimique et une rigidité mécanique, caractéristiques essentielles lorsqu'elles sont utilisées dans des processus tels que la diffusion, l'oxydation et la croissance épitaxiale.

Dans les environnements de fabrication de semi-conducteurs exigeants, il est crucial de protéger l'intégrité des tranches et de minimiser la contamination. Les détenteurs de bateaux SIC offrent une plate-forme solide et inerte qui peut tolérer des environnements de fournaises extrêmes tout en maintenant l'intégrité sans déformation et sans libération de contaminants. Leur inertie chimique permet leur utilisation avec des gaz de processus réactifs, tandis que leur transmittance thermique favorise même le chauffage de la surface des plaquettes pour un traitement cohérent.

Chaque support de bateau SIC est fabriqué avec une tolérance élevée pour une précision dimensionnelle, ce qui les rend faciles à accueillir et à s'adapter à tout type de bateau à plaquette et configurations de charge automatisées. Leur structure rigide crée non seulement un soutien fort, stable et adéquat pour les bateaux à plaquettes, mais réduit également les micro-vibrations ou les changements de position peuvent avoir sur les plaquettes. De plus, le carbure de silicium a une excellente résistance à l'usure et peut gérer le cycle de chaleur répété pour offrir une longue durée de vie, ce qui entraîne un peu de temps d'arrêt et le remplacement des pièces flacales.

Les attributs uniques du carbure de silicium peuvent offrir des avantages supplémentaires en ce qui concerne la propreté des processus. Contrairement aux métaux ou aux matériaux céramiques de grade inférieur, le SiC ne s'écaille pas, ne se dégrade pas chimiquement par des températures extrêmes ou dans le plasma. Cela fait des détenteurs de bateaux SIC un excellent outil pour les fabricants essayant de limiter la contamination des salles blanches pour les nœuds avancés des semi-conducteurs qui nécessitent un rendement élevé et une pureté.

Les détenteurs de bateaux semi-orecorex sont produits en utilisant des processus uniques de moulage et de frittage qui assurent une microstructure uniforme et des performances mécaniques entre les lots et à travers plusieurs porte-bateaux. Par exemple, la forme du support ou la configuration de l'emplacement peut être personnalisée, ainsi que le type de montage.

Que ce soit utilisé dans les fours verticaux ou les réacteurs horizontaux, la personnalisation des porte-bateaux semi-orecorex répondra aux tolérances pour la fabrication de semi-conducteurs de nouvelle génération. Si vous choisissez des produits Semicorex, vous saurez que vous avez travaillé avec un fournisseur compétent, dédié à l'excellence matérielle et que vous vous efforcez d'innover en permanence en céramique en ce qui concerne la fiabilité et la livraison.