Bateau SiC

Les bateaux Semicorex SiC sont méticuleusement fabriqués à partir de céramique SiC de haute pureté, un matériau célèbre pour sa stabilité thermique inégalée, sa résistance mécanique exceptionnelle et son inertie chimique inébranlable. Ces qualités en font le choix idéal pour les conditions rigoureuses de fabrication des semi-conducteurs.

Les bateaux SiC disposent d'une résistance mécanique et d'une durabilité inégalées, grâce à la dureté du matériau et à sa résistance exceptionnelle à l'usure. Cela leur permet de supporter la nature exigeante des environnements de production de semi-conducteurs à haut débit sans succomber à l’usure progressive. Contrairement à d'autres matériaux, le SiC conserve son intégrité structurelle au fil du temps, réduisant considérablement le besoin de remplacements fréquents et minimisant les temps d'arrêt des opérations de fabrication, ce qui conduit finalement à des économies substantielles pour les fabricants de semi-conducteurs.

L'inertie chimique du SiC renforce encore son aptitude aux processus de semi-conducteurs en le rendant très résistant aux attaques chimiques des gaz réactifs et des matériaux couramment utilisés tels que le chlore et le fluor. Cette résistance robuste garantit que les bateaux SiC ne contaminent pas les tranches pendant le traitement, préservant ainsi la pureté et la qualité des dispositifs semi-conducteurs fabriqués. Pour les processus exigeant un niveau encore plus élevé de résistance chimique, les bateaux SiC peuvent être recouverts d'une couche supplémentaire de SiC, fournissant une barrière supplémentaire contre les attaques chimiques et rehaussant la finition de surface du bateau pour diminuer le risque de contamination particulaire.

La grande pureté de la céramique SiC utilisée dans ces bateaux est essentielle, car la fabrication des semi-conducteurs exige des matériaux contenant un minimum d'impuretés. Même des traces de contaminants peuvent altérer les propriétés électriques des tranches et entraîner des défauts dans les dispositifs finaux. Les bateaux SiC sont conçus à partir de céramique SiC de très haute pureté pour garantir qu'ils n'introduisent aucune impureté dans l'environnement du processus, même dans les températures élevées et les conditions réactives typiques de la fabrication des semi-conducteurs. Cette pureté renforce la fiabilité des bateaux SiC pour les étapes critiques du processus.

La compatibilité des SiC Boats avec divers équipements semi-conducteurs est primordiale. La polyvalence du SiC lui permet d'être usiné avec précision pour s'adapter aux dimensions et configurations spécifiques requises par différents types de fours et de réacteurs à semi-conducteurs, ce qui les rend adaptés à un large éventail d'applications, depuis les opérations de recherche et développement à petite échelle jusqu'aux lignes de production à grande échelle. De plus, les propriétés exceptionnelles de conductivité thermique et de dissipation thermique du matériau contribuent à un contrôle plus efficace de la température pendant le traitement, améliorant ainsi les performances et le rendement des dispositifs semi-conducteurs.