Pagaie en porte-à-faux SiC

La palette en porte-à-faux Semicorex SiC (carbure de silicium) est un composant crucial utilisé dans les processus de fabrication de semi-conducteurs, en particulier dans les fours de diffusion ou LPCVD (dépôt chimique en phase vapeur à basse pression) lors de processus tels que la diffusion et le RTP (Rapid Thermal Processing). Il sert à supporter et à transporter les plaquettes dans le tube de traitement de ces fours.

La palette en porte-à-faux Semicorex SiC est principalement composée de carbure de silicium, un matériau robuste et thermiquement stable connu pour sa résistance aux températures élevées et ses excellentes propriétés mécaniques. Le SiC est choisi pour sa capacité à résister aux conditions difficiles rencontrées dans les environnements de traitement à haute température des fours à semi-conducteurs. La conception de la palette en porte-à-faux SiC lui permet de s'étendre dans le tube de traitement du four tout en étant fermement ancrée à une extrémité à l'extérieur du tube. Cette conception garantit la stabilité et le support des tranches en cours de traitement tout en minimisant les interférences avec l'environnement thermique à l'intérieur du four.

La palette en porte-à-faux SiC est destinée à transporter les tranches de semi-conducteurs en toute sécurité dans le tube de traitement pendant divers processus à haute température tels que la diffusion et le RTP. Sa construction robuste garantit qu'il peut résister aux températures extrêmes et aux environnements chimiques rencontrés au cours de ces processus sans dégradation ni panne. Les palettes en porte-à-faux SiC sont conçues pour être compatibles avec une large gamme de tailles et de formes de plaquettes semi-conductrices couramment utilisées dans l'industrie. Ils sont souvent personnalisables pour s'adapter à des configurations de fours et à des exigences de processus spécifiques.