Pagaies en porte-à-faux sic

Les pagaies en porte-à-faux semi-corétées sont des composants haute performance conçus précisément pour la manipulation des plaquettes et le transport de plaquettes dans un équipement de traitement thermique semi-conducteur (LPCVD, PECVD, oxydation et fours de diffusion). Ces pagaies en porte-à-faux fournissent une plate-forme pour les plaquettes et une forme de soutien nécessaire qui garantit un transport stable et fiable de plaquettes cassantes à travers des processus rigoureux à haute température (dépassant souvent 1200 ° C). Les pagaies en porte-à-faux sont fabriquées à partir de carbure de silicium de haute pureté (SIC) qui offre une durabilité mécanique, une stabilité thermique et des propriétés anti-corrosives pour l'environnement de fabrication de semi-conducteurs.

Le carbure de silicium est un matériau en céramique super prémium avec une excellente conductivité thermique, une faible extension thermique et la capacité de fonctionner de manière fiable dans des environnements chimiquement hostiles. Le carbure de silicium dans les pagaies en porte-à-faux peut aider à réduire la déformation thermique

 et le mouvement qui maintient les plaquettes plates et dans leur position de traitement nominale. La stabilité thermique de la tranche dans le contexte des pagaies en porte-à-faux est importante pour minimiser les problèmes de contamination des particules et de mouvements mécaniques, en particulier lors de la production de dispositifs de nœuds avancés. Ces problèmes peuvent entraîner une perte de rendement ou des retouches coûteuses et un remplacement des plaquettes.

La forme monolithique des pagaies en porte-à-faux sic améliore la robustesse mécanique et l'uniformité thermique tout en éliminant les joints et les points faibles qui peuvent généralement exister dans les composites. De plus, la finition de surface des pagaies est spécifiquement contrôlée et généralement polie à une qualité miroir proche pour minimiser la génération de particules et est conforme aux classes très blanches.

Dans les processus de diffusion et d'oxydation qui impliquent l'oxygène, la vapeur et d'autres gaz réactifs; Les matériaux conventionnels peuvent fuir ou se déformer au fil du temps. La propriété inerte chimique inhérente de la SIC garantit que les pagaies ne deviendront pas ou ne corroderont pas et introduiront la contamination du processus en raison de l'utilisation de matériaux instables, contribuant à un processus plus stable et à des résultats fiables.  L'intégrité structurelle des pagaies de cantilever SIC reste stable malgré un cycle rapide du chauffage et du refroidissement. Par conséquent, ils offrent une longue durée de vie opérationnelle avec une maintenance considérablement réduite ou des temps d'arrêt de remplacement des pièces.

De plus, la masse réduite et le poids léger des pagaies SIC permettent une réponse thermique plus rapide; permettant ainsi une augmentation thermique plus rapide et des temps de refroidissement contribuant à une productivité accrue et à l'efficacité énergétique, toutes les principales mesures du paysage concurrentiel de la fabrication de semi-conducteurs.

Les pagaies en cantilever SIC peuvent être fournies dans une variété de configurations et de tailles, conçues et fabriquées pour s'adapter à divers conceptions de fournaises et tailles de plaquettes allant de 100 mm à 300 mm et plus. Les OEM et les intégrateurs d'équipement apprécient la cohérence et la fiabilité des pagaies SIC au fil du temps, pour les déploiements dans les processus frontaux et back-end.

Semicorex propose des pagaies de cantilever SIC haut de gamme avec un contrôle serré sur la pureté du matériau, la microstructure et les tolérances dimensionnelles. Nos capacités de processus avancées, associées à notre connaissance de la dynamique thermique des semi-conducteurs, nous permettent de produire des pagaies avec ces attributs qui répondent ou dépassent les normes de l'industrie pour la stabilité, la propreté et la durabilité. Lorsqu'il doit être juste et fiable, Semicorex est l'endroit idéal pour les composants SIC de qualité.