Bateaux en céramique sic

Les bateaux en céramique SIC semicorex sont des transporteurs de pointe spécialement conçus pour transporter, stocker et traiter des plaquettes semi-conductrices en toute sécurité dans les environnements les plus exigeants et thermiquement extrêmes. L'industrie des semi-conducteurs a rapidement adopté de nouvelles normes de performance qui ont obligé des bateaux en céramique SIC à de manière fiable, fiable et sans contamination, réalisez les exigences intolérantes et critiques pour les processus de fabrication moderne de la plaquette.

Fort stabilité thermique et résistance

L'attribut déterminant des bateaux en céramique SIC est sa stabilité thermique très élevée. Les bateaux en céramique SIC peuvent supporter la température supérieure à 1600 ° C sans perdre leur forme ou leur structure pendant les processus de cyclisme thermique agressifs. En raison du coefficient de dilatation thermique ultra-bas, les bateaux en céramique SIC sont moins sujets à la distorsion et à la fissuration, permettant des tolérances étroites et une sécurité globale de la tranche pendant la manipulation dans des conditions rigides.

Haute pureté et résistance chimique

Les bateaux en céramique SIC sont fabriqués à partir de carbure de silicium ultra-élevé. Les bateaux en céramique SIC sont également très résistants à la dégradation chimique, au plasma corrosif et en érodage. La nature inerte des bateaux en céramique SIC signifie des processus de gaz corrosifs, d'environnements réactifs, des conditions acides ne formeraient aucune contamination du bateau ou rien de soluble pour nuire au processus de travail. La surface non contaminée des bateaux en céramique SIC ne permet aucune génération de particules ni lixiviation d'ions, donc une surface de la plaquette n'est pas compromise par des impuretés qui entravent les performances ou le rendement des dispositifs.

Ingénierie de précision pour la manipulation de la plaquette sûre et sécurisée

Les bateaux en céramique SIC sont fabriqués dans des tolérances étroites, ce qui leur permet de gérer les plaquettes de divers diamètres, dont 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm et plus encore. La conception structurelle des bateaux SIC offre une excellente planéité, un parallélisme et une taille de créneaux uniformes pour maintenir une bonne orientation lapinante de la plaque et protéger les bords de la tranche lors du transfert vers un autre processus ou outil. Tous les bateaux SIC peuvent être conçus avec des dimensions personnalisées pour correspondre à l'ensemble d'outils ou pour répondre aux spécifications d'automatisation.

Longue durée de vie et plus rentable

Le SIC remplace les matériaux traditionnels (quartz, alumine) par une résistance mécanique considérablement améliorée, une ténacité à la fracture et une résistance aux chocs thermiques. Ce niveau de durabilité se traduit par une durée de vie plus longue avant la «défaillance», nettement moins de remplacements pendant le fonctionnement et un coût total de possession inférieur. La cohérence des performances de la durabilité du SIC réduira les temps de baisse et accélérera le débit sur les lignes de fabrication de semi-conducteurs.

Ouvrez les applications dans les processus semi-conducteurs

Les bateaux en céramique SIC sont largement utilisés dans les processus semi-conducteurs frontaux tels que:

Dépôt LPCVD et PECVD

Oxydation thermique

Implantation ionique

Recuit et diffusion

Nettoyage des plaquettes et traitement chimique

Les poignées en céramique SIC ont des applications de traitement compatibles dans les chambres à la fois dans l'atmosphère et le procédé sous vide, ce qui en fait un choix idéal pour les fonderies et les FAB qui cherchent à minimiser et à réduire le risque de contamination tout en améliorant la productivité.